リアルタイム電子ビームテスティング法とその応用に関する研究

实时电子束测试方法及其应用研究

• 批准号: 63550292
• 负责人: 藤岡 弘
• 金额: $ 0.7万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-63550292/
• 关键词: 電子ビームテスティング; リアルタイム計測; 2次電子検出器; 走査電子顕微鏡; 論理LSI

1.超広帯域2次電子信号検出システムの構成超高速シンチレータ(過渡応答2.4ns)/光電子増倍管(過渡応答2.3ns)/広帯域前置増幅器(帯域200MHz)を2次電子検出器として持つリアルタイム2次電子検出システムを構成し、2次電子が試料表面から放出され、エネルギー分光器を経て前置増幅器から出力されるまでの全系の時間分解能10nsを実現した。また、シンチレータを試料台に近接させることにより、他の構成要素がそのままの場合でも、時間分解能が4nsまで改善される可能性のあることを、2次電子軌道解析により示した。2.超低デューティ比動作の観察論理振幅0.4〜4V、繰り返し周波数100Hz〜100MHzの全領域にわたって時間分解能10nsのリアルタイム計測が可能である事を示した。従って、デューティ比(繰り返し周期に対するパルス幅の比)が10^<-6>程度の超低デューティ比動作の論理デバイスへの適用も可能である。

1. Ultra-high-speed communication system composed of ultra-high-frequency secondary electron signal generation system (Transition response 2.4ns)/Photoelectron multiplier tube (Transition response 2.3ns)/Band preamplifier (Band 200MHz)/Secondary electron detector/Secondary electron spectrometer/Sample surface emission/Output/Preamplifier/Time resolution of the entire system 10ns. For example, the time resolution of the second order electron orbit can be improved by 4ns in the case where the sample table is close to the second order electron orbit. 2. Ultra-low noise ratio operation detection logic amplitude 0.4 ~ 4V, noise return frequency 100Hz ~ 100MHz, full field time decomposition energy 10ns, detection logic detection possible. The <-6>logic of the ultra-low speed ratio operation is applicable to 10^degrees.

项目成果

H.Fujioka: J.Appl.Phys.E:Sci.Instrm.22. (1989)

H.Fujioka：J.Appl.Phys.E：Sci.Instrm.22。