实时电子束测试方法及其应用研究-猫眼课题宝

实时电子束测试方法及其应用研究

批准号：

63550292

负责人：

藤岡弘

金额：

$0.7万

依托单位：

Osaka University

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)

财政年份：

1988

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

1988 至 --

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-63550292/

关键词：

電子ビームテスティングリアルタイム計測 2次電子検出器走査電子顕微鏡論理LSI

项目摘要

项目成果

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英文摘要

1.超広帯域2次電子信号検出システムの構成超高速シンチレータ(過渡応答2.4ns)/光電子増倍管(過渡応答2.3ns)/広帯域前置増幅器(帯域200MHz)を2次電子検出器として持つリアルタイム2次電子検出システムを構成し、2次電子が試料表面から放出され、エネルギー分光器を経て前置増幅器から出力されるまでの全系の時間分解能10nsを実現した。また、シンチレータを試料台に近接させることにより、他の構成要素がそのままの場合でも、時間分解能が4nsまで改善される可能性のあることを、2次電子軌道解析により示した。2.超低デューティ比動作の観察論理振幅0.4〜4V、繰り返し周波数100Hz〜100MHzの全領域にわたって時間分解能10nsのリアルタイム計測が可能である事を示した。従って、デューティ比(繰り返し周期に対するパルス幅の比)が10^<-6>程度の超低デューティ比動作の論理デバイスへの適用も可能である。

期刊论文(1)

专著(0)

科研奖励(0)

会议论文

H.Fujioka: J.Appl.Phys.E:Sci.Instrm.22. (1989)

H.Fujioka：J.Appl.Phys.E：Sci.Instrm.22。

DOI： --

发表时间：

期刊：

影响因子： --

作者：

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