球面抵抗薄膜を用いた接触式面法線検出プローブの開発研究
采用球形电阻薄膜的接触式表面法线检测探头的研发
基本信息
- 批准号:63750126
- 负责人:
- 金额:$ 0.51万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- 财政年份:1988
- 资助国家:日本
- 起止时间:1988 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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