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有磁場マイクロ波プラズマ励起水素イオンビームによるシリコンカーバイト膜の低温成長
磁场微波等离子体激发氢离子束低温生长碳化硅薄膜
基本信息
- 批准号：03750219
- 负责人：
- 金额：$ 0.64万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- 财政年份：1991
- 资助国家：日本
- 起止时间：1991 至 无数据
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
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