粒界拡散を利用した多結晶シリコンの電気特性制御に関する研究
粒界拡散を利用した多結晶シリコンの電気特性制御に関する研究
晶界扩散控制多晶硅电性能的研究
批准号：
03750558
负责人：
安武 潔
金额：
$0.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1991
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1991 至 --
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会议论文
大気圧プラズマを用いた機能性界面創生によるSi表面パッシベーション技術の開発
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批准号：21656039
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额：$1.98万
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财政年份：2009
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负责人：安武 潔
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依托单位：
インライン対応シリコン低温選択エビ技術の開発
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批准号：18656046
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项目类别：Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额：$1.98万
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财政年份：2006
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负责人：安武 潔
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依托单位：
GaAs単結晶中の部分転位の運動に関する研究
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批准号：61750279
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.51万
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财政年份：1986
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负责人：安武 潔
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依托单位：
フォトルミネッセンス法を用いた半導体表面の残留応力分布の精密測定
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批准号：59750230
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1984
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负责人：安武 潔
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依托单位：