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精密結晶成長によるX線露光マスク形成とナノメートル周期パターン転写

精密結晶成長によるX線露光マスク形成とナノメートル周期パターン転写
X射线曝光掩模形成和通过精密晶体生长实现纳米周期图案转移
批准号:
04750240
负责人:
宮本 恭幸
金额:
$0.64万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
1992
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1992 至 --
关键词:

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化合物半導体横方向ヘテロ接合の創成とその電子デバイスへの応用
  • 批准号:
    21H01384
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额:
    $11.15万
  • 财政年份:
    2021
  • 负责人:
    宮本 恭幸
  • 依托单位:
真空電子波デバイスの為のエピタキシャル金属/絶縁体構造平面放出型冷陰極
  • 批准号:
    07650031
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.41万
  • 财政年份:
    1995
  • 负责人:
    宮本 恭幸
  • 依托单位:
真空電子波デバイスのための基礎研究-平面型フィールドエミッタの試作と電子波干渉現象-
  • 批准号:
    05650026
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    宮本 恭幸
  • 依托单位:
ナノメートル金属細線の半導体中への埋め込み成長
  • 批准号:
    03750212
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.64万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    宮本 恭幸
  • 依托单位: