表面プラズモンを利用した超微細周期パターンのホログラム記録

使用表面等离子体激元全息记录超精细周期性图案

基本信息

  • 批准号:
    05750050
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 0.58万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 财政年份:
    1993
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1993 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

薄膜金属格子に励振される表面プラズモン波の干渉を利用した微細周期パターンのホログラム記録に関する研究を次のように行った:1.薄膜金属格子に励起される表面プラズモン波を求めるために,周期構造における電磁波の固有値問題の数値解法を導いた;2.1.の固有値問題を計算機を用いて解き,薄膜金属格子の構造パラメータ(材質,溝形状,膜厚)を変化させたときの,励起される表面プラズモン波の伝搬定数を求めた。その結果,薄膜金属格子の膜厚を調整することによって,表面プラズモン波の伝搬定数が制御できることを数値的に見出した。3.2.の結果を踏まえて,微細周期パターンをホログラム記録するための光学系を考案した。この光学系は,銀でできた薄膜金属格子の両端をフォトレジストでコーティングし,両側からp偏光した平面光を入射させるものである。4.3.の光学系でフォトレジストに記録される干渉パターンを計算機シミュレーションにより求めた。そしてフォトレジストに記録される干渉パターンが凝正弦波状の周期パターンであることを確かめた。さらに,薄膜金属格子の構造パラメータの最適化を行えば,干渉パターンの溝周期を100nm程度にできることを実証した。上記の研究成果は,すでに日本光学会,電気学会電磁会理論研究会および電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会で発表している。今後は,1.から4.までの研究成果をまとめて論文として投稿する予定である。また,本年度は計算機シミュレーションまでしかできなかったので、本研究の成果を実験的に確かめることが今後の課題の一つである。
1. Numerical solution of intrinsic value problem of electromagnetic wave due to excitation of thin film metal lattices; 2. Numerical solution of intrinsic value problem due to excitation of thin film metal lattices; 3. Numerical solution of intrinsic value problem due to excitation of thin film metal lattices; 4. Numerical solution of intrinsic value problem due to excitation of thin film metal lattices; 5. Numerical solution of intrinsic value problem due to excitation of thin film metal lattices. As a result, the film thickness of the thin film metal lattice is adjusted, and the number of surface waves is adjusted. 3.2. The results of this study are as follows: The optical system is examined in the case of micro-periodic recording. This optical system is made up of silver films and metal lattices. 4.3. The optical system is designed to be able to record and record information from the computer system. The first time I saw him, I saw him. In addition, the structure of thin film metal lattice is optimized, and the groove period of dry metal lattice is about 100nm. The above research results are published by the Japan Optical Society, the Theoretical Research Society of the Electromagnetic Society of the Electric Power Society, and the Optical Echo Technology Research Society of the Electronic Information and Communication Society. In the future, 1. 4. This year, the computer system has been developed, and the results of this research have been verified.

项目成果

期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
松田豊稔,奥野洋一: "金属格子における表面プラズモンの特性解析" 電子情報通信学会、光、エレクトロニクス研究会資料OQE93-96. 83-88 (1993)
Toyotoshi Matsuda、Yoichi Okuno:“金属晶格中表面等离子体的特性分析”电子、信息和通信工程师研究所、光学和电子研究组材料 OQE93-96 (1993)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
松田豊稔,奥野洋一: "薄膜金属格子による平面波の散乱と吸収" 電気学会・電磁界理論研究会資料 EMT-93-54. 47-56 (1993)
Toyomi Matsuda、Yoichi Okuno:“薄膜金属晶格对平面波的散射和吸收”日本 IEE/电磁场理论研究组材料 EMT-93-54 (1993)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
松田豊稔,奥野洋一: "薄膜金属格子における共鳴吸収" 電子情報通信学会 平成6年春季大会講演論文集. (1994)
Toyomi Matsuda、Yoichi Okuno:“薄膜金属晶格中的共振吸收”IEICE 1994 年春季会议论文集(1994 年)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
松田豊稔,奥野洋一: "表面プラズモン波を利用した微細周期パターンのホログラム記録" 電気学会・電磁界理論研究会資料 EMT-93-109. 119-128 (1993)
Toyomi Matsuda、Yoichi Okuno:“使用表面等离子体波的精细周期图案的全息记录”日本 IEE/电磁场理论研究组材料 EMT-93-109 (1993)。
  • DOI:
  • 发表时间:
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    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
T.Matsuda and Y.Okuno: "Resonance absorption in a metal grating with a dielectric overcoating" IEICE Trans.Electron.E76-C. 1505-1509 (1993)
T.Matsuda 和 Y.Okuno:“具有介电涂层的金属光栅中的共振吸收”IEICE Trans.Electron.E76-C。
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