スパイラル・ゾーンプレートを用いた干渉測長法の研究

螺旋波带片干涉测长研究

• 批准号: 05750126
• 负责人: 神谷 和秀
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Toyama Prefectural University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750126/
• 关键词: ゾーンプレート; 干渉法; 位相格子

工業技術の急速な進歩によりICなどの小さなものから天体望遠鏡などの大きなものまで、高精度化・多様化という問題に直面している。このため、数cmから数十mの寸法や距離を高精度・高能率で測定することが要求されるようになってきている。当初、研究の目的を、単一波長の光源を用い、スパイラル・ゾーンプレートによって得られる回折波面を利用することで、数cmから数十m離れた位置を数mumの精度で、かつ高能率に測定する干渉測長法の原理の確立、およびその測定法の測定感度・測定精度等を明確にすることとしていた。そして、研究の目的を達成するために、第一に使用するスパイラル・ゾーンプレートのパターンについて幾何学的な解析方法である光線追跡法を用いて計算機シミュレーションを行い検討をする予定であった。しかし、実際に研究を始めた段階で、使用するゾーンプレートについて、振幅型と位相型を比較・検討した結果、高精度・高能率な測長を行うためには、位相型を選択しなければならないことがわかった。そこで、まず初めに、位相型回折格子の位相分布と格子のデューティー比とその回折効率について検討を行った。その結果、回折効率は、格子の位相分布とデューディー比に密接に関わっていることがわかった。そのため使用する回折格子をいかにして製作するかが問題となり、酸化シリコンを蒸着する方法を検討し、良い結果を得た。今後、当初の目的であった、スパイラル・ゾーンプレートのパターンを検討し、実験を継続して行う予定である。

Industrial technology の な rapidly into step に よ り IC な ど の small さ な も の か ら astronomical telescope な ど の big き な も の ま で, high precision, many others と い う problem に face し て い る. こ の た め, several cm か ら dozens m の inch method を や distance and high precision, high energy determination of で す る こ と が requirements さ れ る よ う に な っ て き て い る. At the beginning, the purpose of the study の を, の 単 a wavelength light source を い, ス パ イ ラ ル · ゾ ー ン プ レ ー ト に よ っ て have ら れ る inflexion wave を using す る こ と で, several cm か ら dozens m from れ を た position for mum の で precision, か つ determination of high-energy に す る dry minister involved measuring principle of の の establishment, お よ び そ の measurement の を determination sensitivity, measurement accuracy, etc Make it clear that にする とと て て た た. そ し て, the purpose of the study の を reached す る た め に, use the first に す る ス パ イ ラ ル · ゾ ー ン プ レ ー ト の パ タ ー ン に つ い て な analytical method of geometry で あ る を ray tracing method with い て computer シ ミ ュ レ ー シ ョ ン を line い beg を 検 す る designated で あ っ た. し か し beginning, the event be に を め た Duan Jie で, use す る ゾ ー ン プ レ ー ト に つ い て, amplitude phase と を comparison, 検 beg し た results, high precision, high energy な measuring line を う た め に は type, phase を sentaku し な け れ ば な ら な い こ と が わ か っ た. Early そ こ で, ま ず め に inflexion, phase type grid と の phase distribution grid の デ ュ ー テ ィ ー than と そ の inflexion sharper rate に つ い て 検 line for を っ た. そ の results, back to the fold sharper rate は の phase distribution, grid と デ ュ ー デ ィ ー than に contact に masato わ っ て い る こ と が わ か っ た. Use そ の た め す る inflexion grid を い か に し て making す る か が problem と な り, acidification シ リ コ ン を steamed す る method を 検 for た を い し, good results. In the future, when の purpose で あ っ た, ス パ イ ラ ル · ゾ ー ン プ レ ー ト の パ タ ー ン を beg し 検, be 験 を 継 続 し て line う designated で あ る.