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シングルモード励起暗視野観察自己干渉法による次世代超微細機能構造の非破壊深さ計測

使用单模激发暗场观察自干涉测量下一代超精细功能结构的无损深度测量

基本信息

批准号：
22KJ1106
负责人：
管一兆
金额：
$ 1.6万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2023
资助国家：
日本
起止时间：
2023-03-08 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22KJ1106/
关键词：
FDTD RCWA Depth measurement Dark-field Microscopy Microgroove 位相差顕微鏡

项目摘要

今年度の実績はシミュレーションの進捗と提案手法の実験検討二つの項目であります．まず、周期溝構造を対象としたシングルモード励起暗視野観察自己干渉法に相当するシミュレーションを行い、この手法の特性を明らかにしました。申請者は申請時までに、単一溝構造の暗視野観察に関してFDTD法に基づくシミュレーション方法を確立しました。前段階で判明していることは、既知の幅を持つ単一溝構造に対して、アスペクト比1（深さと幅の比率）を超える深さ計測が可能であることです。実際の機能素子として用いられる超微細構造は、周期的な構造を持つものが主であり、実用性を考慮して、提案手法を周期構造へ展開する必要があります。このため、周期構造計算に適用されるRCWA法を利用し、より高速で周期溝構造の周期・幅・深さなどの計測限界への影響を明らかにしました。さらに、得られる計測限界の物理メカニズムを電磁場の振る舞いから理論的に解明しました。その成果はASPEN2022の国際学会で発表し、優秀論文賞を受賞しました。次の項目では、提案手法を実験的に検証するために、暗視野光学系を構築しました。これは、円偏光を片側から入射させ、カメラで暗視野観察を行うことにより、通常干渉しないP偏光とS偏光成分を干渉させるもので、位相シフト法による位相差計測を実現する装置です。そこで、位相シフトを高速に行えるようにするため、空間光位相変調器の導入を検討しました。装置を使いこなすために、空間光位相変調器を応用する研究で、位相差顕微鏡の感度を向上させる研究も行いました。その成果はCMSE2022の学会で発表し、論文に採択されました。

This year, in recent years, there has been a significant improvement in the method of proposal. This year, there has been a significant improvement in the method of proposal in the current year. This year, there has been a significant improvement in the method of proposal in the current year. This year, there has been a significant improvement in the method of proposal in the current year. At the time of the application, the applicant does not need to pay attention to the FDTD law. The basic method is to ensure the establishment of the information system. In the previous paragraph, it is concluded that it is possible to determine that the amplitude is higher than that of 1 (the ratio of the depth to the amplitude). The international economic system uses the ultra-micrometer to create the system, the cycle of the system is used to analyze the data, the usability test is used, and the proposal cycle is developed. the necessary information is available. Using the RCWA method to make use of the high-speed cycle, the amplitude of the cycle, the limit of the cycle, the limit of the calculation, the limit of the calculation, the use of the high-speed cycle, the amplitude of the cycle, the width of the cycle, the limit of the calculation, the limit of the calculation. It is necessary to limit the understanding of the theory of physics, magnetic field, vibration and dance. The International Society of International Studies (ASPEN2022) has received a lot of attention from both the International Society and the International Society. The second project, the proposal method, the Department of Field Optics, and the Department of Optics. The polarizer, the polarizer, the incident light, the dark field, the polarizer, the phase, the phase. The equipment, the phase sensor, the high-speed transmission line, the optical phase detector in space and the optical phase detector in space are used in the transmission system. The device makes it possible for the optical phase detector to be used in the study of the phase difference and the microsensitivity of the phase difference. The results of the CMSE2022 will help you to learn the tables and articles.