Computerprogramme für Hochleistungsrechner und deren Anwendung zur Optimierung von Kristallzüchtungsprozessen

高性能计算机的计算机程序及其在优化晶体生长过程中的应用

• 批准号: 5270335
• 负责人: Professor Dr. Franz Durst
• 金额: --
• 依托单位: Department Werkstoffwissenschaften
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1995-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5270335?language=en
• 关键词: Computerprogramme; Hochleistungsrechner; und; deren; Anwendung

Im Rahmen dieses Forschungsprojektes erfolgt die Weiterentwicklung eines Computercodes zur globalen Simulation von Prozessen zur Herstellung von Einkristallen in der Halbleiterindustrie. Numerische Simulationen von Kristallwachstumsprozessen erfordern aufgrund der komplexen, zeitabhängigen und oftmals auch turbulenten Strömungen genaue und effiziente numerische Methoden. Der Bereich der Schmelze kann wahlweise mit Finiten-Volumen oder mit einer genauen und effizienten Pseudospektral Methode diskretisiert werden, die umgebenden Bauteile sowie der Bereich der gff. vorhandenen Gasströmungen wird unter Verwendung des bereits existierenden Finite-Volumen Programms modelliert. Hierbei können sowohl die Wärmestrahlung in transparenten Medien als auch die Spannungen innerhalb der Festkörper berücksichtigt werden. Die Forschungsarbeiten betreffen die Weiterentwicklung der Pseudospektral Methode und die Modellierung der physikalischen Vorgänge sowie deren effiziente numerische Behandlung. Die hierzu notwendigen Algorithmen müssen entwickelt und implementiert werden. Die einzelnen Teilprogramme werden bereits zur Optimierung von CVD-Reaktoren und Kristallzüchtung mittels Vertical Gradient Freeze (VGF) Technik eingesetzt.

这些研究项目主要是对半导体工业生产过程进行全球模拟的计算机代码进行加权。数值模拟von Kristallwachstumsprozessen erfordern aufgrund der komplexen，zeitabhängigen und oftmals auch quienten Strömungen genaue und effiziente numerische Methoden. Schmelze的边界可以用一种通用的和有效的伪光谱方法来测量，边界的总体积可以通过GFF来测量。vorhandenen Gasströmungen wird unter Verwendung des bereits successtierenden volumen Programms modelliert.在此之前，媒体中的Wärmestrahlung也是节日活动的主要内容之一，因此也是韦尔登。研究结果表明，伪光谱方法的权重系数和物理学上的Vorgänge模型可以有效地进行数值处理。这两个级别必须得到加强和实施韦尔登。该项目的韦尔登是优化垂直梯度冻结（VGF）技术中的CVD-反应和晶体生长。