レーザアブレート塩素プラズマ輸送の二次元モデル解析

激光烧蚀氯等离子体输运的二维模型分析

• 批准号: 07750067
• 负责人: VENTZEK Peter
• 金额: $ 0.64万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07750067/
• 关键词: レーザアブレーション; 塩素プラズマ; 塩素ペレット; 二次元モデル

マイクロエレクトロニクス技術の進歩にともなってプラズマエッチング技術が益々重要になってきているが、本研究はエッチングガスとして適度に化学的活性で取扱いが容易な塩素を冷却固化したペレット状のものをターゲットとし、これにレーザを照射アブレートしたプラズマから塩素中性ラジカルビームを作ることの可能性を研究したものである。本モデルにはプラズマとガスの動力学を結合したもので、具体的にはプラズマ化学、プラズマプルムとエッチング基板間の電界を考慮した点が特徴である。本モデルのもとでプラズマの進展過程ならびにこれのターゲットと基板面での振る舞いを電算機でシミュレートした。その結果、1)プラズマプルムの進展過程、ならびにプルム速度と加速電界、中性塩素ラジカル密度が与えられた。例えば、プルム速度が0.5μm/nsと与えられ、多くの観測結果と一致した。Cl_2の運動エネルギーはプラズマの心よりプルム部分の方が大きいこと、また、プラズマ密度はプラズマの心で高いことが分かった。2)電界を印加することにより、塩素分子が解離し原子状塩素量が増加し、シリコン基板のエッチング速度の増す可能性のあることが示唆された。3)以上からの結果から判断し、アブレーションプラズマによる基板のエッチングは技術的には有望であると言える。

In this study, we studied the possibility of obtaining the chemical activity in the appropriate range by cooling and solidifying the chemical. The dynamics of this paper are combined with the characteristics of the electrical boundary between the substrates. The development of this technology is a matter of time. The results are as follows: 1) The progress of the process, the speed of acceleration, the density of neutral particles and the density of particles. For example, the velocity of the sample is 0.5μm/ns, which is consistent with the measurement results of the sample. Cl_2's movement is not the same as the center of the circle. 2)The amount of atomic element dissociated by the molecule increases, and the probability of increasing the velocity of the molecule increases. 3)The above results show that there is no need to judge the quality of the products.

项目成果

M.Suzuki,H.Date,P.Ventzek,K.Kitamori,Y.Sakai,H.Tagashira: "Laser Ablation of Cl2 (solid) as a Possible Nautral Beam Source for Etching:Early Time Heavy Particle Dynamics" 平成7年度電気関係学会北海道支部連合大会(札幌). 127- (1995)

M.Suzuki、H.Date、P.Ventzek、K.Kitamori、Y.Sakai、H.Tagashira：“激光烧蚀 Cl2（固体）作为蚀刻的可能自然光束源：早期重粒子动力学”1995 年北海道分会电气协会联合会会议（札幌）127-（1995）。

M.Suzuki,H.Date,P.L.G.Ventzek,K.Kitamori,Y.Sakai,H.Tagashira: "Simulation of a laser ablation neutral beam source during the laser pulse" 第13回プラズマプロセッシング研究会(東京). 339-342 (1996)

M.Suzuki、H.Date、P.L.G.Ventzek、K.Kitamori、Y.Sakai、H.Tagashira：“激光脉冲期间激光烧蚀中性光束源的模拟”第 13 等离子体处理研究组（东京）。 1996）

M.Suzuki,H.Date,P.Ventzek,Y.Sakai and H.Tagashira: "Simulation of a laser ablation of Cl2 (solid) as a Possible Neutral Beam Source for Etching" 第48回 Gaseous Electronics Conference (Berkeley). 1553- (1995)

M.Suzuki、H.Date、P.Ventzek、Y.Sakai 和 H.Tagashira：“模拟 Cl2（固体）激光烧蚀作为可能的蚀刻中性束源”第 48 届气体电子会议（伯克利），1553 年。 (1995)