誘導結合プラズマの周波数制御の二次元モデル解析

电感耦合等离子体频率控制的二维模型分析

• 批准号: 08750071
• 负责人: VENTZEK Peter
• 金额: $ 0.64万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08750071/
• 关键词: 誘導結合型プラズマ; 平面形コイル; 大面積化; 周波数制御

2個ないし3個のコイルに僅かに周波数の異なる電流を与えることにより誘導結合型プラズマリアクターを制御し、プラズマプロセスの大面積化を図る方法について、その可能性を計算機シミュレーションにより検討した。その結果、本研究で提案する制御方法は原理的に実行可能であることが示された。本シミュレーションでは、複数の周波数の相互作用により生じるうなりモードとラスタモードの違いが認識された。うなりモードはパルス的で、2つのコイルのみを用いて異なる周波数の電流を通じた場合に生じる。一方のラスタモードは、3つ以上のコイルを用いた場合に生じ、不安定なモードが発生しうる。周波数や電流値などの変数空間から安定な運転条件を求めるためのモードダイアグラムを算定し、その成果を業績欄の論文として公表した。本論文および学会等における討論の結果、米国内のグループにより本制御法の実験的な検証を試みるにいたっている。

Two or three of the three groups are connected to each other by means of a computer system. The results of this study suggest that the control method can be implemented according to the principle. The present invention relates to a method for detecting the interaction between multiple frequency bands. The frequency of the current is different from the frequency of the current. When a party is in use, it is unstable and unstable. The number of cycles, the number of currents, the number of spaces, the stability of the operating conditions, the calculation of the results, the performance of the column, and the table. The results of the discussion in this paper are as follows: (1) The research and development of this system are conducted in China.

项目成果

N.Yamada, P.L.G.Ventzek他: "A Model for a Large Area Multi-Frequency Multi Planar Coil Inductively Coupled Plasma Source" Journal of Vaccuum Science and Technology A. 14. 2859-2870 (1996)

N.Yamada、P.L.G.Ventzek 等人：“大面积多频率多平面线圈感应耦合等离子体源的模型”真空科学与技术杂志 A. 14. 2859-2870 (1996)

山田直紀,P.Ventzek他: "誘導結合型プラズマリアクタにおけるプラズマソースの制御" 電気学会放電研究会資料. ED-96-128. (1996)

Naoki Yamada、P. Ventzek 等人：“电感耦合等离子体反应器中的等离子体源控制”IEEJ 放电研究组材料 (1996)。