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局所サンプリング法による超精密3次元形状計測法に関する研究

基于局部采样法的超精密3D形状测量方法研究

基本信息

批准号：
07750128
负责人：
大谷幸利
金额：
$ 0.64万
依托单位：
Tokyo University of Agriculture and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
起止时间：
1995 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07750128/
关键词：
位相シフト法干渉計局所サンプリング法 3次元形状計測

项目摘要

本研究は干渉縞の位相検出に新しい解析法である局所サンプリング法を確立することによって超精密3次元形状計測を試みた.この局所サンプリング法は,位相シフト法の誤差要因である量子化に着目した.この誤差を軽減するため,干渉縞を位相シフトして行ったときの干渉縞の暗縞の一部分のみをサンプリングし,これと同時にCCDカメラで検出される光強度を飽和しない程度まで上げ,最小自乗法によって正弦フィッティングを行うことにより位相を高精度に求めるものである.本研究ではまず,従来から用いているコリメータ・レンズ系の性能のチェックと光線追跡によるレンズ設計をおこなった.さらに,本手法を実験するため最も重要な要素である高精度な位相シフタの確立をはかった.従来の位相シフタは機械的に行ってきたが,この分解能は1°程度と局所サンプリングを適用する場合においては十分はない.今回の補助金によって液晶位相シフタを試作した.以上の実験設備によって量子化による誤差の要因と局所サンプリング法による位相検出精度検定を行った.これによって,検出される位相は干渉縞1周期の1/1000に達する高分解能および高精度化が可能になることが確認された.さらに,実際にトワイマングリーン干渉計によって超精密3次元形状計測システムの構築を試みた.高精度平面ミラーや金蒸着膜の形状測定を行った結果,従来の位相シフトに比べて非常に有効な手段であることを確認した.今後はさらに本研究を進めて超精密な形状計測を行うために,共通干渉計に適用へと発展させていく予定である.

In this study, a new analytical method is developed to determine the accuracy of the ultra-precision 3D shape design test. According to the local situation, the phase difference is due to the quantization of the target. In order to improve the accuracy of the light intensity and the intensity of the light, the minimum self-tuning method is used to determine the accuracy of the light intensity and the intensity of the light, and the minimum self-tuning method is used to determine the accuracy of the light intensity and the intensity of the light, and the minimum self-tuning method is used to determine the accuracy of the CCD phase. The purpose of this study is to improve the performance performance of optical line tracking. in this study, the design of optical equipment is very important. In this technique, the most important elements, the high precision phase, the accuracy, the accuracy, the accuracy, In order to improve the performance of the machine, the decomposition of the machine can be divided into two parts. This time, the liquid crystal phase is very important. The above equipment is required to quantize the error error due to the accuracy of the measurement phase of the system. In order to improve the accuracy of the phase analysis, the phase interference of 1 cycle, 1 cycle, 1000 cycles, 1 cycle, 1 cycle In this paper, the design of ultra-precision three-dimensional shape design is required. High-precision planar optical film shape measurement results, the phase is much better than the accuracy of the method. In the future, the ultra-precision shape design system has been developed in this study, and the whole system is used to predict the performance.