希土類-遷移金属合金薄膜の低温酸化挙動の観察

稀土-过渡金属合金薄膜低温氧化行为的观察

• 批准号: 07750733
• 负责人: 内田 晴久
• 金额: $ 0.7万
• 依托单位: Tokai University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07750733/
• 关键词: 希土類金属; 酸化; 薄膜; カイネティクス; 水晶振動子; 希土類-遷移金属合金

希土類金属と酸素、あるいは水素といった気体との反応性は、遷移金属のそれよりも高く、薄膜作製においては、真空チャンバー内の残留ガス、あるいは成膜速度なより多くの注意を要する。本研究で用いたプラズマフィラメント型イオンビームスパッタリング法では、他のイオンビームスパッタリング法と異なり、プラズマの加速に10kVの高圧を用いたため、以下のような特徴を有する薄膜が得られていることがわかった。すなわちスパッタリングの為のプロセスガスとして用いたArが薄膜内に取り込まれているという事実である。これは成膜後、アニーリングすることで薄膜からのガス放出現象として捕らえることができ、その詳細については薄膜関連の国際会議にて発表をおこなった。加速電圧が高く、なおかつ成膜速度が比較的小さいため、Arが膜中に取り込まれたものと考えられる。透過電顕による観察では特に回折線は見られず、アモルファスに近い構造であることがわかった。このような薄膜の酸化現象は、勿論バルク材のそれとは大きく異なることが予想されるが、応用面で薄膜の利用が大きく期待されていることを考慮すれば、薄膜の酸化挙動はバルク材と同様、あるいはそれ以上に重要であると考えられる。本研究では希土類遷移金属薄膜として、マイクロマシ-ニング技術でのアクチュエーターとしても期待の大きいTbFe_2組成を取り上げ、さらに状態図上でその隣に位置する金属間化合物であるTbFe_3との組成の違いが及ぼす室温での酸化現象の特徴をとりあげた。水晶振動子による質量変化、及びオージェ電子分光のその場観察から、いずれの場合もTbが初期の酸化で選択的に酸化され、以後膜中へ酸化が進行すると同時に、Tbの酸化膜中で、あるいはその表面で鉄が二次的に酸化されることが理解された。またFeの濃度が異なっても基本的な酸化挙動に大きな変化はなく、Fe濃度が高い薄膜においてはFe酸化が早い時期に始まっていることが推測された。すなわちTbFe系合金薄膜においては、アモルファスに近い構造では化合物相の影響は小さく、固溶相として熱力学的な考察が適用できる系の酸化現象であると考えられる。

Rare earth metals, rare earth metals, water, temperature, temperature, The purpose of this study is to improve the performance of the 10kV system in this study. In this study, the following information is used in this study. In this study, the results of this study are as follows: in this study, the results of this study are as follows: in this study, the results of this study are as follows: in this study, the results of this study are as follows: in this study, the results of this study are as follows. In this case, you can use the Ar in the film to obtain the correct information. After the formation of the film, the film is emitted in the form of a thin film. Speed up the film forming speed of high voltage, high speed, high Through the monitoring of the special folding line of the electric power station, we will make a close-door call to the customer through the electric power station. The system of thin film acidizing is very important, regardless of whether you want to use the thin film, you can use the thin film to make use of the thin film, you can use the thin film to improve the performance of the film. In this study, rare earth metal thin films are used to transfer metal thin films. In this study, rare earth metal thin films are used to transfer metal thin films. In this study, rare earth metal thin films are used to transfer metal thin films. TbFe _ 2 is expected to be used as a combination of TbFe2, TbFe3, TbFe The crystal vibrator is used to measure the temperature, and the electronic spectrometer is used to observe the initial acidizing of the Tb, and the acidizing is carried out simultaneously with the acidizing in the back film. the secondary acidizing of the surface of the Tb acidizing film is understood. The basic acidizing activities such as acidizing, Fe, acidizing, Fe acidizing, Fe acidizing, acidizing, TbFe alloy thin films are used in the study of the properties of compound phase, solid solution phase, solid solution phase and solid solution phase.

项目成果

H. H. Uchida: "Preparation of Films of (Tb, Dy) Fe_2 Giant Magnetostrictive Alloy by Ion Beam Sputtering Proces and Their Characteristics" Abstructs of 13th International Vacuum Congress, 9th International Conference on Solid Surfaces.397- (1995)

H. H. Uchida：“通过离子束溅射工艺制备（Tb，Dy）Fe_2巨磁致伸缩合金薄膜及其特性”第13届国际真空大会、第9届国际固体表面会议摘要。397-（1995）

M. Wada: "超磁歪材(Tb, Dy) Fe_2薄膜作製における成膜方法の特徴と問題点" J. Advanced Science. 7. 21-22 (1995)

M. Wada：“超磁致伸缩材料（Tb、Dy）Fe_2薄膜生产中成膜方法的特点和问题”J. Advanced Science 7. 21-22（1995）。