课题基金 / 基金详情

ナノ電子線加工による表面活性化を利用した超微細接合の原子挙動解析

ナノ電子線加工による表面活性化を利用した超微細接合の原子挙動解析
利用纳米电子束处理表面活化对超细结进行原子行为分析
批准号：
07750796
负责人：
木塚 徳志
金额：
$0.51万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1995 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07750796/
关键词：
高分解能透過電子顕微鏡電子顕微鏡その場解析電子線加工

项目摘要

项目成果

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最新の電子顕微鏡に用いると電子線によるナノメートルレベルの材料表面の除去加工が可能になることを、まず明らかにした。これはセラミックスや半導体の表面にある酸化物や他の化合物などの汚染層を電子顕微鏡で観察しながらある領域を選択的に加工するものである。除去後には活性な表面が現れており、この活性表面同志を接触させると、常温においても結晶学的に結合した界面が形成されることがわかった。結合時に試料表面を加熱する必要がないため、また焼結助剤やろう材を必要としないため、接合後の残留熱応力による接合界面の破壊は起きないことがわかった。また電子顕微鏡内真空蒸着による金属/セラミックス異相界面の生成過程を蒸着その場で、かつ原子レベルの空間分解能で観察し、その機構を明らかにした。これは薄膜、界面、原子クラスターの形成に深く関わる機構であり、材料学、固体物理学上、極めて重要な知見である。本研究で明らかにされた以上の成果は、現在の接合工学研究では全く触れられていなかったことであり、新たな接合法の開発の糸口になるものである。本研究で得た成果は材料学的に高く評価されており、申請者は本多記念研究奨励賞(1995)、日本金属学会奨励賞(1995)、アメリカ材料学会国際材料組織写真賞(1995)、及び第三位(1995)、日本金属学会組織写真賞(1996)、同佳作賞(1995)、同奨励賞(1995)を受賞した。
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
木塚徳志 他: "超微細電子線加工の動的原子直視観察" 日本金属学会報. 34. 547 (1995)
Tokushi Kizuka 等：“超精细电子束加工的动态原子直接观察”日本金属研究所通报 34. 547 (1995)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Kizuka et al.: "Nanometer-scale election beam processing and in-situ atomic observation of vacuum-deposited Mgo films in HREM" philosophical magazine. 71. 631-639 (1995)
T.Kizuka 等人：“HREM 中真空沉积 Mgo 薄膜的纳米级电子束处理和原位原子观察”哲学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Kizuka et al.: "Critical site for structaval fransformatin in vacuum-deposited molybdenum films" Surface Review and Letters. in print (1995)
T.Kizuka 等人：“真空沉积钼薄膜中 structaval frasformatin 的关键位点”Surface Review and Letters。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
木塚徳志 他: "金属クラスターの分裂" 日本金属学会報. 34. 548 (1995)
Tokushi Kizuka 等人：“金属簇的分裂”日本金属研究所通报 34. 548 (1995)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    原子直視型材料力学実験法による変形・摩擦型ナノメートル機械素子の開発
    • 批准号：
      23K22657
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $1.75万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視型材料力学実験法による変形・摩擦型ナノメートル機械素子の開発
    • 批准号：
      22H01386
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $5.24万
    • 财政年份：
      2022
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視法によるサブ10nm級局所融解加工の開発
    • 批准号：
      21K18683
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.99万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視法を利用した単一原子個別の単一光子分光
    • 批准号：
      19651047
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.54万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    海外基金