课题基金 / 基金详情

常温接合による銅ナノメートル配線の形成と電気伝導特性の原子直視その場解析

常温接合による銅ナノメートル配線の形成と電気伝導特性の原子直視その場解析
室温键合铜纳米线形成及电导性能原位原子直接分析
批准号：
14040212
负责人：
木塚 徳志
金额：
$1.92万
依托单位：
University of Tsukuba
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2002
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2002 至 2003
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-14040212/
关键词：
電子顕微鏡量子コンダクタンスバリスティック伝導走査トンネル顕微鏡原子間力顕微鏡ナノテクノロジー微細接触接点材料力学微細加工ナノワイヤー高分解能透過電子顕微鏡常温接合ポイントコンタクト量子効果デバイス

项目摘要

项目成果

木塚 徳志的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
原子直視的接合解析法を用いて、次期配線材料として注目されているナノメートルサイズの銅の接点やワイヤー等の配線を常温接合で作製し、接合界面の限界歪み量、ヤング率等の弾性率、強度等の力学特性と電気伝導特性を実験的に明らかにした.この結果から、ナノメートル常温接合法を用いた超機能デバイス作製法を開発した。特に、これまでの手法では、接合操作を手動で行ってきたが、本年度は、応力を自動制御するシステムを設計製作し、最適化された常温接合法の条件を見いだすことを新たに試みた。観察像を解析し、記録画像を1/60秒毎に解析し、構造変化と応力-歪み関係、酸化物層の厚さと絶縁特性等の分析結果を対応させた。これにより、一連の接合過程において、界面歪み緩和機構、不安定界面の構造安定化などの動的変化、接合時の界面化学反応、および接合前の表面と接合中の酸化物層の変化と絶縁特性や伝導特性の変化の対応を原子レベルで明らかにした。これまで得られた結果を総合して、ナノメートルスケールの銅の接点とワイヤーの接合・変形における構造変化、化学反応を原子レベルで明らかにし、その結果を基に、接合界面の強度、靱性、伝導度もしくは絶縁性改善をおこなった。こうした結果から、超機能化デバイス作製に有効な常温接合法の条件を見いだし、その常温接合安定化の機構を考察した。エレクトロマイグレーションは、通常サイズの配線では、組織破壊の原因として扱われてきたが、本研究のようなナノサイズの配線では、逆に、破壊初期の自己修復機能として働くことが、発見された.
期刊论文(24)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Tokushi Kizuka et al.: "Mechanical Properties of Nanometer-sized Cu Contacts"Proc.Int.Conf. Solid State Devices and Materials. 600-601 (2003)
Tokushi Kizuka 等人：“纳米尺寸铜触点的机械性能”Proc.Int.Conf。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
木塚徳志: "金原子1個ずつならぶネックレス"パリティ. 17. 21-25 (2002)
Tokushi Kizuka：“带有一个金原子的项链”Parity。17. 21-25 (2002)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
木塚徳志: "ピエゾ駆動による粒界すべりの電子顕微鏡観察"超音波. 15. 66-68 (2003)
Tokushi Kizuka：“通过压电驱动进行晶界滑移的电子显微镜观察”超声波。 15. 66-68 (2003)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
木塚徳志: "ナノ構造操作のアトムダイナミックス"応用物理学会誌. 71. 989-995 (2002)
Tokushi Kizuka：“纳米结构操纵的原子动力学”日本应用物理学会杂志 71. 989-995 (2002)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 12 条
    原子直視型材料力学実験法による変形・摩擦型ナノメートル機械素子の開発
    • 批准号：
      23K22657
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $1.75万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視型材料力学実験法による変形・摩擦型ナノメートル機械素子の開発
    • 批准号：
      22H01386
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $5.24万
    • 财政年份：
      2022
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視法によるサブ10nm級局所融解加工の開発
    • 批准号：
      21K18683
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.99万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視法を利用した単一原子個別の単一光子分光
    • 批准号：
      19651047
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.54万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba