音波による表面付着微粒子の分離促進機構

声波促进表面附着颗粒分离的机制

• 批准号: 07750831
• 负责人: 後藤 邦彰
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07750831/
• 关键词: 粒子除去; 衝突噴流; 振動気流; 再飛散; 付着微粒子

半導体産業等の多くの分野で問題となっている粒子状物質の除去操作に対して高速気流による除去法の検討を行ってきた結果、強制的に特定周波数の変動を高速気流に与えることにより、分離が促進されることがわかった。そこで、この気流変動による分離促進機構の解明を目的として、実験的検討を行った。本研究では、振動ノズルを新たに設計・試作した。このノズルには振動板があり、この振動板材質および板厚さを変えることにより振動特性を変えることができる。実験では、振動特性が粒子分離力に与える影響に着目し、平滑表面(ほう珪酸ガラス)上に単分散球形粒子を付着させ、種々の振動特性を持つ高速振動気流を吹き付ける除去操作を行い、気流噴射前後での粒子数差から、振動特性による除去効率の変化を求めた。実験結果から、振動気流から粒子に働く分離力は、気流速度に影響するノズルでの空気圧力よりも気流振動特性に主に依存することがわかった。本実験範囲での低圧空気を用いると、単位時間当たり分離できる粒子数は振動周波数の増加とともに増加する。この時には、気流噴射時間の増加とともに分離された単調に増加する。このことから、低圧時の粒子の分離力は圧力変動回数に依存すると考えられる。一方、ノズル内圧力が高いときには、分離力の周波数依存性は見られなくなり、振動波形によって分離力は異なり、最適な振動波形が存在することがわかった。この時には、気流噴射時間を長くすると分離される粒子数は最大値に達する。

There are many problems such as semi-mechanical operation and so on. In order to remove the particulate matter, the operation, the high-speed flow, the operation, the separation and the separation. The mechanism to facilitate the separation of information and information is to clarify the behavior of the target party and customer service. The purpose of this study is to conduct a study on the design of the new design for the study. In order to improve the performance of the vibrating board, the thickness of the plate, the thickness of the plate, the vibration characteristics, the vibration characteristics, the thickness of the plate, the thickness of the plate, the thickness of the plate. The vibration characteristics, the particle separation force and the vibration characteristics, the dispersion of spherical particles on the smooth surface, the vibration characteristics of the high-speed vibration flow, the removal of the operation line, the difference of the particle count before and after the flow, and the vibration characteristics of the smooth surface (acid temperature). The results of the experiment show that the vibration force, the flow velocity, the air force and the vibration characteristics of the flow are dependent on each other. In this range, low-temperature air conditioners are used, when the number of particles is separated, the number of vibration cycles is increased, and the number of vibration cycles is increased in time. The time of transmission, the time of transmission and the time of transmission. The number of back-to-back movements of particles at low temperatures and low temperatures is highly dependent on each other. On the one hand, the internal force is high, the wave number is dependent on the frequency, the vibration waveform is divided, and there is a correlation between the vibration waveform and the vibration waveform. The number of particles separated from each other is the maximum number of particles in the temperature range.

项目成果

後藤邦彰: "高周波振動気流による表面付着微粒子の除去効率に対する振動周波数・音圧の影響" 粉体工学会1995年度秋期研究発表会講演論文集. 144-147 (1995)

Kuniaki Goto：“振动频率和声压对高频振荡气流去除表面附着细颗粒的效率的影响”粉末工程学会 1995 年秋季研究会议记录 144-147 (1995)。