高分解能全反射X線蛍光スペクトルの測定

高分辨率全内反射X射线荧光光谱的测量

• 批准号: 08640764
• 负责人: 林 久史
• 金额: $ 1.15万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08640764/
• 关键词: 高分解能X線蛍光スペクトル; X線全反射; 結晶分光器; SiKα線; Siウェハ-; イメージングプレート

最近表面分析における新しいプローブとして、全反射臨界角近傍の浅い角度で励起光を入射したときに放出される蛍光X線(以下、全反射蛍光X線-TXRF-と略す)が注目されている。本体蛍光X線は、元素組成分析は勿論、化学状態分析にも使えるが、TXRFはこれまで組成分析にしか用いられてこなかった。TXRFを通常の蛍光X線同様、状態分析に適用する事を究極の目的として、本年度はそのための新しい分光器の設計・製作から着手した。今回製作した分光器は次のような特徴を持っている。1.TXRF測定用としては初の結晶分光器:状態分析に必要な数eV以下というエネルギー分解能を達成するため、湾曲水晶単結晶を分光結晶として組み込んだ。2.イメージングプレート(IP)による検出:TXRFの信号強度はかなり弱いと予想されるので、光路の空気や検出器の窓材による散乱・吸収の影響を避けるため、真空中に窓なしで設置できるIPを検出器として採用した。この分光器を用いて、応用上重要なSiウエハ-を試料に、銅K線を励起光にして、実験室でTXRFの試験的測定を行った。その結果、5日程度の積算で、全反射条件下でのSiKα線をエネルギー分解能〜1.5eVで観測する事に成功した。これは、TXRFの高分解能測定の今後の展開上、重要な第一歩と思われる。しかしスペクトルのS/N比はなお十分でなく、残念ながらSiウエハ-表面に関する情報を引き出すには至らなかった。現在、励起光単色化用の結晶を試料前に置ける様に分光器を改造する事で、S/N比向上をもくろんでいる。又、本研究は分光器設計という分光の土台から始めたので、微弱X線の結晶分光に関してかなりのノウハウが蓄積された。これをTXRF同様強度の弱いX線非弾性散乱スペクトル測定に応用したところ、いくつかの新しい知見を得る事ができた(雑誌論文参照)。

Recently, the surface analysis shows that the boundary angle of total reflection is near the shallow angle, and the incident light is excited. The X-ray (below, total reflection X-ray-TXRF- light) is focused on. Noumenon X-ray diffraction, element composition analysis, chemical state analysis and TXRF analysis are used in the analysis. The TXRF system usually uses the same X-ray line, the status analysis system uses the same X-ray line, and the status analysis system uses the new spectrometer design for the current year. This time, I will make a splitter. This time, I will make a special report. For 1.TXRF determination, the initial results of the spectrometer: the necessary parameters for state analysis, such as eV, the decomposition energy of the crystal, the crystal of the bay bend crystal, the structure of the crystal, and the structure of the crystal. two。 The signal strength of the TXRF signal is weak, the light path is empty, the material is scattered, the shadow is avoided, the vacuum is set, and the IP exporter is used. The spectrometer uses the measurement line of the important Si material, the K splitter, the TXRF splitter and the light splitter. The result of the experiment, the active calculation of the degree of 5 days and the decomposition energy of the total reflection of SiKa under the condition of total reflection are very successful. The decomposition energy of 1.5eV is very good. The high decomposition of TXRF can be used to determine the development of the future, the first and most important. I don't know what to do. I don't know what to do. I don't know. I don't know. At present, it is necessary to improve the performance of the spectrometer before the material is used for photochromization. In addition, in this study, the equipment of the spectrometer is used to measure the initial temperature of the soil platform, the weak X-ray diffraction, the optical microscope, the optical microscope and the optical microscope. The strength of TXRF is the same as that of weak X and non-sexual dispersion. The measurement is based on the new information and information (referenced in the journal article).

项目成果

N.Watanabe et al.: "Bethe Surface of Liquid Water Determined by Inelastic X-Ray Scattering Spectroscopy and Electron Correlaton Effects" Bull.Chem.Soc.Jpn.70 (in press). (1997)

N.Watanabe 等人：“通过非弹性 X 射线散射光谱和电子相关效应确定液态水表面”Bull.Chem.Soc.Jpn.70（印刷中）。

N.Watanabe et al.: "Anisotropy of hexagonal boron nitride core absorption spectra by x-ray Raman spectroscopy" Appl.Phys.Lett.69. 1370-1372 (1996)

N.Watanabe 等人：“通过 X 射线拉曼光谱分析六方氮化硼核心吸收光谱的各向异性”Appl.Phys.Lett.69。