アモルファスの液中ポリシングに関する研究

非晶液体抛光研究

• 批准号: 08650133
• 负责人: 松原 十三生
• 金额: $ 1.41万
• 依托单位: Nagoya Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08650133/
• 关键词: ニッケル系アモルファス; 液中ポリシング; 超精密加工; 単ロール製薄膜; 両面加工

本研究においては単ロール製法によるニッケル系金属アモルファス薄膜(厚さ役40μm)の両面を同時に超精密加工するために2つの対向型ポリウレタンゴム製ロールによる液中ポリシング法を提案し、その加工特性について明らかにしたものである。ポリシング液には粒径50nmの極微粒シリカゲルを用いた。その結果以下の点が明らかとなった。単ロール製アモルファス薄膜は冷却ロールに接した急冷面と反対の空冷面ではその性質が異なる可能性があるが、今回用いた資料では両面とも完全アモルファス(800〜900Hv)であることがわかった。しかし、素材の表面あらさは急冷側、空冷側で異なり、それぞれRa=47nm、283nmで、表面には長波長のうねりが見られた。この資料を液中ラッピングしたとところ、表面あらさは4時間でRa10nmが得られ、長波長うねりは完全に消滅することが確認できた。この加工法では、うねりの山の高いところが選択的に加工され、全体が平坦になるまでは加工能率が0.025mm/(mm・kgftenn・hr)と比較的高く、全体が平坦になると加工能率は低下することがわかった。このことは特別な制御無しに自動的に薄膜の超精密平坦面を得る方法としてな極めて有効な方法であることがわかった。これらの研究結果の一部は別紙成果報告書に記載の通り平成8年度精密工学会秋季会シンポジウウムにおいてアモルファス金属のの超精密切削と題して発表し、さらにより詳細な加工特性については今後精密工学会において液中ラッピングによるアモルファス薄膜の超精密加工として発表する予定である。

In this study, the preparation method of metal thin films (thickness 40μm) was studied, and the surface of the films was simultaneously ultra-precisely machined. The particle size of 50nm in the solution is very small. The results are as follows: The film is cooled by a quenching surface and an air cooling surface. The properties of the film are different. The data used today are completely different. The film is cooled by a quenching surface (800 ~ 900Hv). The surface of the material is different from the rapid cooling side and the air cooling side. Ra=47nm and 283nm are different from the surface. This data is in the middle of the liquid, the surface is in the liquid, the surface is in the middle of the liquid, the surface is in the liquid, and the surface is in the liquid. This machining method is relatively high and flat, with a machining rate of 0.025mm/(mm·kgften·hr). The method of ultra-precision flat surface of thin film is specially controlled. A part of the research results was reported in a paper report on the prediction of ultra-precision machining of thin films in the future by the Institute of Precision Engineering at the autumn meeting of the Institute of Precision Engineering in 2008.

项目成果

松原十三生、他2名: "アモルファス金属の超精密切削" 1996年度精密工学会秋季大会シンポジウウム資料集「先進材料と超精密加工」. 33-35 (1996)

Juzo Matsubara等2人：“非晶金属的超精密切削”1996年日本精密工程学会秋季会议材料研讨会“先进材料和超精密加工”33-35（1996）。