アモルファスの液中ポリシングに関する研究

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本研究においては単ロール製法によるニッケル系金属アモルファス薄膜(厚さ役40μm)の両面を同時に超精密加工するために2つの対向型ポリウレタンゴム製ロールによる液中ポリシング法を提案し、その加工特性について明らかにしたものである。ポリシング液には粒径50nmの極微粒シリカゲルを用いた。その結果以下の点が明らかとなった。単ロール製アモルファス薄膜は冷却ロールに接した急冷面と反対の空冷面ではその性質が異なる可能性があるが、今回用いた資料では両面とも完全アモルファス(800〜900Hv)であることがわかった。しかし、素材の表面あらさは急冷側、空冷側で異なり、それぞれRa=47nm、283nmで、表面には長波長のうねりが見られた。この資料を液中ラッピングしたとところ、表面あらさは4時間でRa10nmが得られ、長波長うねりは完全に消滅することが確認できた。この加工法では、うねりの山の高いところが選択的に加工され、全体が平坦になるまでは加工能率が0.025mm/(mm・kgftenn・hr)と比較的高く、全体が平坦になると加工能率は低下することがわかった。このことは特別な制御無しに自動的に薄膜の超精密平坦面を得る方法としてな極めて有効な方法であることがわかった。これらの研究結果の一部は別紙成果報告書に記載の通り平成8年度精密工学会秋季会シンポジウウムにおいてアモルファス金属のの超精密切削と題して発表し、さらにより詳細な加工特性については今後精密工学会において液中ラッピングによるアモルファス薄膜の超精密加工として発表する予定である。