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単ロール法製アモルファスプレートの連続超精密加工法の研究

单辊法非晶板材连续超精密加工研究

基本信息

批准号：
07650141
负责人：
松原十三生
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Nagoya Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
起止时间：
1995 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

単結晶ダイヤモンドによるアモルファスの超精密切削加工、超と粒による超精密研削加工およびコロイダルシリカによるアモルファス薄膜の液中ポリシング加工実験を行った。ダイヤモンドによる超精密切削に関しては超精密工作機械を使用して切りくず生成機構を解明する実験を行った。その結果アモルファスの切り屑は一見連続流れ型を示すが、走査型電子顕微鏡による詳細な観察から、それらが極めて薄いマイクロせん断から成り立っていることが初めて解明された。その原因はアモルファスの完全弾塑性に近い機械的性質に起因することがわかった。また、切削加工による結晶化はX線分析から確認されなかった。これらの結果は1995年度精密工学会秋季大会学術講演会にて発表した。超と粒による超精密研削ではカップ状CBN砥石による平面研削加工を行った。その結果、アモルファスの研削仕上げ面向上には柔らかい結合剤の砥石が有効であることがわかった。また、研削加工面の結晶化についてもX線分析した結果、研削加工による結晶化は全く生じないことが確認できた。さらに、これらと平行してアモルファス薄膜の連続液中ポリシングの研究も行った。即ちコロイダルシリカを用いてポリウレタンゴム製ロールによる液中ポリシング加工装置を製作し、その加工特性を測定した。ポリウレタンゴムロール表面の精密加工のために特別のウレタンゴム加工専用砥石を開発し、それを用いてロール表面を精密研削した後、液中ポリシングを行った。その結果、極めて柔いゴムロールとシリカゲルによる液中ポリシングであるにもかかわらず、アモルファスを極微細に加工でき、その表面損傷が極めて少ない良好な加工面であることが確認できた。これらの結果は今後のアモルファスの機械加工を考える上で有効な資料を与えるるものであり、アモルファス薄膜の能率的荒加工、連続超精密仕上げ加工の可能性が本研究で明らかになった。

Ultra-precision machining, ultra-fine grinding, ultra-fine grinding The ultra-precision cutting mechanism is related to the use of ultra-precision machine tools. The results show that there is a continuous flow of chips in the micro-mirror, and the micro-mirror has a detailed observation of the micro-mirror. The reason for this is that it is completely plastic and mechanical. X-ray analysis was performed to confirm crystallization during machining. The results were presented at the Academic Lecture Meeting of the 1995 Autumn Conference of the Society of Precision Engineering. Ultra-fine grinding of ultra-fine grain and ultra-fine grinding of ultra-fine grain and ultra-fine grain and ultra-fine grain are carried out. The results of the study are as follows: X-ray analysis results of crystallization of grinding surface and confirmation of crystallization of grinding surface A study on the separation of organic and inorganic compounds in thin films; This is to measure the processing characteristics of the liquid processing equipment used in the production of liquid processing equipment. The precision machining of the surface of the polymer is carried out in a special way, namely, the development of the polymer, the precision grinding of the surface of the polymer, and the solution machining. The result is that the surface damage is extremely small and the surface is well machined. The results of this study indicate that the possibility of machining ultra-precision thin films with high energy efficiency and high precision machining is possible.