Hybrid Plasma sulf-nitriding of ion-nitriding and sputtering

离子渗氮与溅射混合等离子硫渗氮

• 批准号: 08650865
• 负责人: URAO Ryoichi
• 金额: $ 1.41万
• 依托单位: IBARAKI UNIVERSITY
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 1998
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08650865/
• 关键词: Sputtering; Sulf-nitring; Nitring; Ion-nitring; プラズマ; スパッタリング; プラズマ窒化; 硫化; 表面硬化

Target is usually sputtered in highly reduced atmosphere under 0.02 Torr, but sputtering phenomena can arise in about 10 Torr and steel sputters in the atmosphere of 1-10 Torr with ion bombarding in ion-nitriding. So, firstly, steel was plasma sulf-nitrided at 823K for 3.6-18 k s in nitrogen and hydrogen atmospheres of 1-10 Torr. Molybdenum sulfide was used as a negative electrode and target. The steel was sulf-nitrided. Compound layer of 4 mum with nitrogen diffusion layer of 400 mum were formed by sputtering of molybdenum sulfide. Secondly, steel plate was sulf-nitrided by putting pararelly with molybdenum sulfide plate and arising hollow cathode discharge between the two plates. Compound layer of 8-15 mum and 400 mum nitrogen diffusion layer were formed. In both case, compound layers were made with iron sulfide and iron nitride layers.

靶通常在0.02Torr以下的高度还原气氛中溅射，但离子氮化中离子轰击可在约10Torr的气氛中发生溅射现象，在1-10Torr的气氛中发生钢溅射。因此，首先，钢在1-10Torr的氮气和氢气气氛中，在823K对S进行3.6K-18K的等离子体硫氮共渗。以硫化钼为负极和靶材。钢进行了硫氮化处理。用硫化钼溅射形成了4微米厚的复合层和400微米厚的氮气扩散层。其次，将钢板与硫化钼片平行放置，在两片片之间产生空心阴极放电，对钢板进行硫化氮化处理。形成了8~15微米的复合层和400微米的氮扩散层。在这两种情况下，化合物层由硫化铁和氮化铁层制成。

项目成果

浦尾: "ホローカソード放電を利用したCr-Mo綱のプラズマ浸硫窒化" 表面技術. 49・7. 781-787 (1998)

Urao：“使用空心阴极放电的 Cr-Mo 钢的等离子硫氮共渗”表面技术 49・787 (1998)。

浜: "イオン窒化とスパッタリングを組み合わせたプラズマ浸硫窒化" 表面技術. 49・6. 518-523 (1996)

Hama：“结合离子氮化和溅射的等离子体磺氮化”表面技术49・6（1996）。

浦尾亮一: "イオン窒化法による工具鋼SKD11の表面硬化層について" 表面技術協会第95回講演大会. 95回. (1997)

Ryoichi Urao：“关于离子渗氮生产的工具钢SKD11的表面硬化层”第95届表面技术协会会议（1997年）。

浦尾亮一: "イオン窒化とスパッタリングを組み合わせたプラズマ浸硫窒化" 表面技術. 47・6. 50-55 (1996)

浦尾良一：“结合离子氮化和溅射的等离子体磺氮化”表面技术 47・6（1996）。

R.Urao: "Plasma-sulfnitriding using hollow cathode discharge" Korean institute of surface engineering. 29・5. 443-448 (1996)

R.Urao：“使用空心阴极放电的等离子体硫氮化”韩国表面工程研究所 29・5（1996）。