Precursor based plasma synthesis of multi-component hard coatings for high temperature applications

基于前驱体的高温应用多组分硬质涂层的等离子体合成

• 批准号: 5285722
• 负责人: Professor Dr. Gerhard Roewer (†)
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Anorganische Chemie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5285722?language=en
• 关键词: Precursor; based; plasma; synthesis; multi

Ziel des Forschungsvorhabens ist die Plasmasynthese von multinären (quaternären) hochtemperaturstabilen Hartstoffschichten auf Siliziumbasis aus flüssigen Precursoren. Von Schichten des Systems Si-B-C-N oder Si-C-N-Ti bzw. Si-C-N-Zr wird ein hohes Anwendungspotenzial für den kombinierten Verschleiß- und Korrisionsschutz bei hohen Temperaturen erwartet. Im Rahmen des Verbundprojektes soll die gesamte Herstellungsroute von der Konditionierung der flüssigen Precursoren über die Plasmasynthese der keramischen Schichten bis hin zu Eigenschaftscharakterisierung betrachtet werden. Zum Abscheiden der Schichten kommen Gleichstrom- und Hochfrequenz-Plasmabrenner zum Einsatz. Zur Entwicklung eines fundierten Prozessverständisses werden in situ spektroskopische Untersuchungsmethoden eingesetzt. Im Hinblick auf das Anwendungspotential der Schichten kommt Untersuchungen zur Hochtemperaturstabilität eine besondere Bedeutung zu. Durch das Erarbeithen der Grundlagen zum Abscheiden multinärer Schichtsysteme wird das Einsatzgebiet thermischer Plasmaverfahren erweitert.

Ziel des Forschungsvorhabens is die Plasmasynthese von multinären（quaternären）hochtemperaturstabillen Hartstoffschichten auf Siliziumbased aus flüssigen Precursoren. Si-B-C-N或Si-C-N-Ti bzw体系Si-C-N-Zr将是一种高温度下的复合材料的抗腐蚀剂。在Versatile projektes的Rahmen soll die gesamte Herstellungsroute von der Konditionierung der Flüssigen Precursoren über die Plasmasmasynthese der keramischen Schichten bis hin zu Eigenschaftscharakterisierung betrachtet韦尔登. Zum Abscheiden der Schichten kommen Gleichstrom- und Hochfrequenz-Plasmabrener zum Einestrim. Zur Entwicklung eines fundierten Prozessverständisses韦尔登在原位spektroskopische Untersuchungsmethoden eingesetzt. Im Hinblick auf das Anwendungspotential der Schichten kommt Untersuchungen zur Hochtemperaturstabilität eine besondere Bedeutung zu.如果需要多个Schichtsysteme的基础设施，则可以使用Einsatzgebiet Thermischer Plasmaverfahren。