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STUDY OF SHAPE MEASUREMENTS ON AN ULTRA PRESICION LATHE BY USING A LATERAL SHEARING INTERFEROMETER

STUDY OF SHAPE MEASUREMENTS ON AN ULTRA PRESICION LATHE BY USING A LATERAL SHEARING INTERFEROMETER
使用横向剪切干涉仪在超精密车床上测量形状的研究
批准号：
10650119
负责人：
NOMURA Takashi
金额：
$2.37万
依托单位：
TOYAMA PREFECTURAL UNIVERSITY
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
1998
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1998 至 1999
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10650119/
关键词：
LATERAL SHEARING INTERFEROMETERON-MACHEINE SHAPE MEASUREMENTULTRA PRESICION LATHEラテラルシアリング干渉計回折格子レーザ描画装置

项目摘要

项目成果

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1) A systematic error caused by changing of a shear amount was clarified in the integration method with respect to analysis of a lateral shearing interferogram. A analyzing method combined the integration method with the polynomial method was proposed to remove the error.2) A program was developed to remove a systematic error in the optical system of the interferometer.3) An error is caused, when a lateral shearing interferogram of a work piece with a periodic aberration is analyzed. The analyzing error was clarified.4) A lateral shearing interferometer was deigned and manufactured. By the interferometer, shape measurements were performed on the lathe.5) A compact lateral shearing interferometer was deigned and manufactured. The interferometer can be set on the lathe without remove the toll post of the lathe.
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专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
S.Okuda, T.Nomura, et al: "A Method of Analyzing a Lateralshearing Interferogram to Measure Whole Surface Undertest"1st International Euspen Conference. 2. 149-152 (1999)
S.Okuda、T.Nomura 等人：“分析横向剪切干涉图以测量整个表面测试的方法”第一届国际 Euspen 会议。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
S.Okuda, T.Nomura, et al: "Improvement of Precision in analysis of Lateral Shearing Interferogiam Using Integration"1999 International Conference on Optical Engineering for Sensing and Nanotechnology. 630-633 (1999)
S.Okuda、T.Nomura 等人：“利用积分提高横向剪切干涉分析的精度”1999 年传感和纳米技术光学工程国际会议。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Nomura, K.Kamiya, et al.: "Shape measurements of Mirror Surfaces with a Lateral shearing Interferometer During Machine Running"Precision Engineering. 22. 185-189 (1998)
T.Nomura、K.Kamiya 等人：“机器运行期间使用横向剪切干涉仪对镜面进行形状测量”精密工程。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Takashi Nomura, Kazuhide Kamiya, Hiroshi Miyashiro, Seiichi Okuda, Hatsuzo Tashiro, and Kazuo Yoshikawa: "Shape Measurements of Mirror Surfaces with a Lateral Shearing Interferometer During Machine Running"Precision Engineering. Vol.22, No.4. 185-189 (199
Takashi Nomura、Kazuhide Kamiya、Hiroshi Miyashiro、Seiichi Okuda、Hatsuzo Tashiro 和 Kazuo Yoshikawa：“机器运行期间使用横向剪切干涉仪进行镜面形状测量”精密工程。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 8 条
    Development of numerical method and wind tunnel experiment to evaluate flying behavior and impact force of wind-borne debris
    • 批准号：
      18H01527
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $7.49万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      NOMURA Takashi
    • 依托单位：
      Nihon University
    Development of numerical method for flying debris in wind and evaluation of impact forces
    • 批准号：
      15K14024
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.0万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      NOMURA Takashi
    • 依托单位：
      Nihon University
    Evaluation of significance and early intervention of RBD with neurological disorders
    • 批准号：
      24591296
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.0万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      NOMURA Takashi
    • 依托单位：
      Tottori University
    Regulation of skin immunity by regulatory T cell-subset
    • 批准号：
      24591649
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      NOMURA Takashi
    • 依托单位：
      Kyoto University