熱フィラメントアシストスパッタ法によるカーバイン複合薄膜の物性評価と制御

热丝辅助溅射法卡宾复合薄膜物理性能评价与控制

• 批准号: 11124218
• 负责人: 上村 喜一
• 金额: $ 1.22万
• 依托单位: Shinshu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1999 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11124218/
• 关键词: 炭素繊維; ナノ構造; ナノファイバ; カーバイン; カルビン; 熱フィラメント; スパッタ

グラファイトをターゲットとした直流マグネトロンスパッタリングに、熱フィラメントを組み合わせることで、配向性の強い結晶性炭素薄膜が得られることを見出し、その物性評価を行うとともに、作製条件と特性の関係を調べることにより所定の特性の薄膜を得るための検討を行った。走査電子顕微鏡による観察の結果、薄膜は柱状構造の結晶から成っていることが判明した。さらにその個々の構造について詳細に観察すると、それぞれがさらに細い繊維状構造が集まって構成されていることがわかった。構成要素である繊維を取り出して透過電子顕微鏡による観察を行った結果、いわゆるカーボンナノチューブとは異なり、中空ではないことが示され、制限視野回折では1次元構造特有の縞(平行線)状の回折像が得られた。これらの結果から、本方法で作製した炭素薄膜は、これまでに報告されていない新しい構造のものであり、カーボンナノファイバと称すべき構造である。さらに、ラマン分光法により炭素の原子結合について評価した結果、わずかではあるがsp結合からの散乱光が検出され、カーバイン相の存在が示唆された。

The relationship between the properties and the properties of the carbon films was discussed. The results of electron microscope observation show that the crystalline structure of thin film is columnar. In addition, the structure of each unit is carefully observed, and the structure of each unit is carefully observed. Constituent elements are taken out through electron micromirrors, and the results are obtained by limiting the field of view and folding back, and the unique (parallel line) shape of the first dimensional structure is obtained. As a result, the carbon thin film prepared by the method has a novel structure. In addition, the existence of carbon atoms combined with scattered light is shown by spectroscopy.

项目成果

Y. Onuma, Y. Matsumoto, M. T. Oo, M. Nakao, K. Kamimura and H. Matsushima: "Preparation of carbon nano fibers by DC magnetron sputtering with a hot filament"Abstracts of International Symposium on Surface Science for Micro- and Nano- Device Fabrication. 1

Y. Onuma、Y. Matsumoto、M. T. Oo、M. Nakao、K. Kamimura 和 H. Matsushima：“用热丝直流磁控溅射制备碳纳米纤维”国际微米和纳米表面科学研讨会摘要

Y. Matsumoto, M. Nakao, Y. Onuma, K. Kamimura and H. Matsushima: "Preparation of carbon nanofibers by hot filament assisted sputtring"Abstract book of the 3rd International Conference on Low Dimensional Structure and Devices. 018-018 (1999)

Y. Matsumoto、M. Nakao、Y. Onuma、K. Kamimura 和 H. Matsushima：《热丝辅助溅射制备碳纳米纤维》第三届国际低维结构与器件会议摘要书。

Y. Matsumoto, M. T. Oo, M. Nakao, Y. Onuma and K. Kamimura: "SEM and TEM observation of carbon nano fibers prepared by hot filament assisted sputtering"Abstracts of 10th International Symposium on Intercalation Compounds. 197-197 (1999)

Y. Matsumoto、M. T. Oo、M. Nakao、Y. Onuma 和 K. Kamimura：“热丝辅助溅射制备的碳纳米纤维的 SEM 和 TEM 观察”第十届插层化合物国际研讨会摘要。