熱フィラメントアシストスパッタ法によるカーバイン複合簿膜の物性評価と制御

热丝辅助溅射法评价与控制卡宾复合薄膜的物理性能

• 批准号: 10137223
• 负责人: 上村 喜一
• 金额: $ 1.47万
• 依托单位: Shinshu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1998 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10137223/
• 关键词: カーバイン(カルビン); カーボン; ナノファイバー; スパッタ; 熱フィラメント; sp結合

熱フィラメントアシストスパッタ法により作製したカーバイン複合薄膜について各種の評価を行った。薄膜はグラファイト板をターゲットに用い,直流マグネトロンスパッタリングにより堆積させた。スパッタガスには純アルゴンを用いた。タングステンフィラメントを基板とターゲットの間に設置し,フィラメント温度を熱電子が放出される程度の高温に保つことにより結晶性炭素薄膜が得られた。熱フィラメントアシスト法はダイヤモンドの気相成長法で広く用いられており,熱電子により励起された水素原子が大きな役割を果たしていることが知られている。しかしながら,本研究において開発した方法は原料にも雰囲気にも水素を一切用いないことがダイヤモンドの気相成長と大きく異なっており,本研究の特徴となっている。走査電子顕微鏡による観察の結果,薄膜は通常見られる結晶粒の集合体として構成されている部分と,柱状の炭素結晶により構成されている部分とが存在することがわかった。この柱状構造はさらに細い繊維状の結晶が束になって形成されている。透過電子顕微鏡による評価の結果,繊維状の炭素結晶は太さが数10nm程度であり,いわゆるカーボンナノチューブに近い太さであるが,ナノチューブとは異なり中空ではないことが示された。この部分について制限視野電子線回折を測定した結果,一次元結晶特有の縞状の回折パターンが得られた。この薄膜について顕微ラマン分光法により,結晶結合の評価を行った。主要な結合はグラファイト結合であるが,部分的にsp結合からのラマン光も検出された。このことから,作製した薄膜にはカーバイン相が含まれていることが確かめられた。

In order to improve the quality of the film, we need to make a comprehensive analysis of all kinds of materials in the film. The thin film is used in the film, the plate is used, and the DC is used. I don't know. I don't know what to do. In order to improve the temperature of the substrate, the temperature of the substrate, the temperature, the temperature and the temperature. The system is designed to improve the quality of the system, and the computer system encourages the water atom to be cut in service. In this study, the raw materials and water were used in this study, and all the raw materials were used in this study. in this study, the raw materials, raw materials and water were used in this study. The results of scanning electron microscopy (SEM) show that the thin films usually show that the grain aggregates of the thin films are formed into a critical part, and that of the columnar carbon crystals exist in the thin films. The shape of the column is in the shape of a column, and the shape of the crystal is in the shape of a beam. Through the results of the electron microanalysis, the results show that the temperature of the carbon crystal is too high for 10nm, the temperature is very high, and the temperature is very high. Part of the system limits the field power line back-to-back test results, and the one-dimensional structure has a unique characteristic. The thin film is characterized by microspectrophotometry, and the crystal is combined with the microstructure of the film. The main method is to combine the sp with each other, and some of them are combined with each other to get the information. Please make sure that the film is used to make sure that the film is in good condition.