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マイクロ波プラズマを用いたリン化インジウム MIS 素子の製作

マイクロ波プラズマを用いたリン化インジウム MIS 素子の製作
利用微波等离子体制造磷化铟MIS器件
批准号：
58750240
负责人：
上村 喜一
金额：
$0.51万
依托单位：
Tokyo Polytechnic University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1983
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1983 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-58750240/
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熱フィラメントアシストスパッタ法によるカーバイン複合薄膜の物性評価と制御
  • 批准号：
    11124218
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.22万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    上村 喜一
  • 依托单位：
    Shinshu University
熱フィラメントアシストスパッタ法によるカーバイン複合簿膜の物性評価と制御
  • 批准号：
    10137223
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.47万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    上村 喜一
  • 依托单位：
    Shinshu University
熱フィラメントアシストスパッタ法によるカ-バイン複合 膜の物性評価と制御
  • 批准号：
    09243218
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.73万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    上村 喜一
  • 依托单位：
    Shinshu University
死による喪失体験の実態と死の指導に関する研究
  • 批准号：
    63907043
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $0.13万
  • 财政年份：
    1988
  • 负责人：
    上村 喜一
  • 依托单位：
    宮崎赤江養護学校