权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

Bi系酸化物高温超伝導体薄膜を用いた固有接合デバイスに関する研究

基于Bi基氧化物高温超导薄膜的本征结器件研究

基本信息

批准号：
11129207
负责人：
井上真澄
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
财政年份：
1999
资助国家：
日本
起止时间：
1999 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11129207/
关键词：
酸化物超伝導体 BSCCO Bi2212 スパッタリング薄膜固有接合熱処理ギャップ電圧

项目摘要

Bi系酸化物高温超伝導体(BSCCO)は異方性が強く,固有接合の研究においては主にその単結晶が用いられている。しかし,応用を考えた場合,薄膜での実現が望ましい。この材料の良質な薄膜の作製は難しいが,我々は高品質なBSCCO薄膜を作製する技術を開発し,高温相ではas-grownで臨界温度Tcが100Kを越す薄膜を得ている。本研究では,この高品質BSCCO薄膜作製技術に基づき,低温相(Bi2212)の薄膜による固有接合についてその作製技術および接合特性の向上を目指してプロセス技術等の検討を行った。得られた知見を以下に述べる。1.固有接合作製技術の向上についての検討: 二段階熱処理(高温・酸素中および低温・窒素中)により粒塊拡大とドープ量制御を行ったBi2212薄膜の表面を加工し,固有接合となる10mm□のメサを形成し,その作製条件および熱処理条件と接合特性との関係を調べた。電流-電圧特性にヒステリシスと電圧のとびが観測されるための低温熱処理時間を求めたところ,熱処理温度500℃の場合は12時間程度以上必要であったが,600℃の場合は3時間以上,700℃の場合は1時間以上であった。一方,低温熱処理の温度とともに表面の荒れも速く進むことが確認された。低温熱処理は,表面の荒れと処理時間を考慮して主に600℃で行うこととした。メサ高さの低いものではギャップ電圧が観測されることもわかった。2.固有接合特性向上についての検討: より明瞭な特性が得られるように,さらに小さいメサの作製を試みた。5mm□のメサ(高さ約40nm)を用いて測定した電流-電圧特性において,明瞭な電圧のとびとヒステリシスが観測され,単結晶的な試料が得られたものと考えられた。

Bi series acidified high temperature superalloy (BSCCO) is very strong in nature, and its inherent bonding properties are studied by means of thermal analysis. If you want to close the film, you can see how you can see it. The high-quality BSCCO thin film is used as a high-quality material, and the high-quality BSCCO thin film is used as a high-quality thin film. The high-temperature phase is used to improve the temperature of the Tc thin film at 100K. In this study, high-quality BSCCO thin film is used as a technical basis, low-temperature phase (Bi2212) thin film is used for inherent bonding, and the bonding characteristics are improved. I have to tell you what I want to know. 1. The inherent cooperation technology is used to improve the mechanical properties of the Bi2212 thin film. The inherent joint is 10mm-high temperature. The characteristics of current and electricity are very important. It is necessary to calculate the temperature at 500 ℃ for more than 12 hours, at 600 ℃ for more than 3 hours and at 700 ℃ for more than 1 hour. On the one hand, it is necessary to adjust the temperature and temperature on the surface to make sure that the temperature is low. The temperature is low and the temperature is low. The temperature is 600 ℃ and the temperature is low. The high and low levels of electricity and electricity are high and low. two。 The inherent joint properties are different from each other: if you understand the properties, you will get the correct results, and you will try to improve the performance. 5mm-40nm (high temperature) is used to determine the electrical current-electrical characteristic characteristic of the electronic equipment, and it is clear that the electrical current and electrical characteristics of the electronic equipment are in good agreement with each other.