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SOI技術を用いたシリコン物理量センサの知能化による耐環境性と信頼性の向上

利用SOI技术使硅物理量传感器智能化，提高耐环境性和可靠性

基本信息

批准号：
98J05310
负责人：
高尾英邦
金额：
$ 0.77万
依托单位：
Toyohashi University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
1998
资助国家：
日本
起止时间：
1998 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-98J05310/
关键词：

项目摘要

项目成果

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