紫外レーザアブレーションのナノ秒時間ゲート分光による不純物濃度分布測定

紫外激光烧蚀纳秒时间门光谱测量杂质浓度分布

• 批准号: 11875015
• 负责人: 春名 正光
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1999 至 2000
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11875015/
• 关键词: 紫外レーザアブレーション; ナノ秒時間ゲート分光; 不純物分布測定; 光コヒーレンストモグラフィ; 白色干渉計; 不純物濃度分布測定; ガラス・誘電体結晶; 光導波モード励起法

前年度に、ナノ秒時間ゲート分光法を用いて、大気中でイオン交換ガラスの厚さ方向のK,Na分布が測定できることを実証した。今年度は、不純物分布測定においてμmオーダーの空間分解能を確保するために、超高分解能OCT(光コヒーレンストモグラフィ)を実現し、レーザアブレーションとOCTイメージング系との融合を試みた。(1)ハロゲンランプ光をGIファイバで空間フィルタリングし、これを光源とする白色干渉計で、両干渉アームの波長分散を補償して、コヒーレンス長1.3μmを得た。(2)上記の干渉計を用いて、アブレーション深さ10μm前後のサンプル表面のOCT断層像の取得に成功した。(3)SLDを光源とするOCTイメージング系で、UVレーザアブレーションされた生体サンプル表面の断層像を順次取得することによって、空間分解能〜10μmで生体サンプルのCa分布測定が行なえることを実証した。(4)光ファイバ干渉計を用いて、上記のOCTイメージング系を小型・安定化し、OCTとレーザアブレーション光学系の融合を試みている。(5)OCTによって、アブレーションされたサンプル表面周辺の損傷を明確に観察できる。とくにガラスは損傷を受けやすい。この事実をもとに、OCTとレーザブレーションを組み合わせた新たな精密加工法を示唆した。

In the past year, the time of the second must be determined by spectrophotometry. The K,Na distribution in the direction of the thickness of the exchange must be determined by spectrophotometry. This year, the spatial decomposition energy of impurity distribution measurement is ensured, and the ultra-high decomposition energy OCT(optical fiber distribution) is realized, and the fusion of OCT system is tried. (1)The wavelength dispersion of the light source and the wavelength dispersion of the light source are compensated for by the wavelength dispersion of the light source and the wavelength dispersion of the light source. The wavelength dispersion of the light source is 1.3μm. (2)The OCT tomographic images of the surface of the sample were successfully obtained before and after 10μm in depth. (3)SLD light source, OCT image system, UV image system and tomographic image of biological surface are sequentially obtained. The spatial resolution energy is ~ 10μm, and the Ca distribution of biological surface is measured. (4)Optical fiber optic system integration, OCT system integration (5)OCT detection and detection of surface damage. The damage was done. The new precision machining method was introduced.

项目成果

近江 雅人: "低コヒーレンス光干渉による生体組織の屈折率と厚さ測定"医用電子と生体工学. Vol.37,No.1. 78-84 (1999)

Masato Omi：“通过低相干光学干涉测量生物组织的折射率和厚度”《医疗电子和生物工程》第 37 卷，第 78-84 期（1999 年）。

Masamitsu Haruna: "Low coherence interferometry for simultaneous measurement of refractive index and thickness"The 2rd Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (OLEO/PR'99). Tech. Digest Vol.1. 64-65 (1999)

Masamitsu Haruna：“用于同时测量折射率和厚度的低相干干涉测量法”第二届环太平洋激光和光电会议 (OLEO/PR99)。

Ryuh Konoshita: "Measurement of calcium of biological tissues along the depth by laser ablation"Conf.Lasers & Electro-Optics(CLEO/PR2001). (to be published). (2001)

Ryuh Konoshita：“通过激光烧蚀沿深度测量生物组织的钙”Conf.Lasers

春名 正光: "生体のマイクロ光診断と実サイズ光トモグラフィ"O plus E. Vol.23, No.1. 86-89 (2001)

Masamitsu Haruna：“生物体的显微光学诊断和真实尺寸光学断层扫描”O plus E. Vol.23，No.1（2001）。

Masamitsu Haruna: "Optical reflection imaging for display of 2-D refractive index distribution along the geometrical thickness"OSA Biomedical Topical Meeting. Paper MBS (to be presented). (1999)

Masamitsu Haruna：“用于显示沿几何厚度的二维折射率分布的光学反射成像”OSA 生物医学专题会议。