コヒーレント光を用いた表面原子の一括操作法の開発研究

相干光表面原子体操控方法的研究与开发

• 批准号: 11875159
• 负责人: 目黒 多加志
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: The Institute of Physical and Chemical Research
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1999 至 2000
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11875159/
• 关键词: コヒーレント光; 干渉; 位相制御; 非線形性; 直接パターニング; 周期構造; 非線形成

速度の非線形の強い系で、コヒーレント光の干渉を利用することにより、表面の形状制御を可能にする新しい原子操作プロセスの開発を目指して、研究を行った。速度の非線形性の強い系として、本研究ではレーザーアブレーションを利用してPMMAやPTFE膜のエッチングによる構造の一括作成を目指した。1パルス照射の実験において、レーザー強度の制御により、ライン・スペース比並びに断面形状の制御が可能であることが示唆された。しかし、主に照射時の位置あわせ精度の問題であると思われるが、複数回レーザーパルス照射を行った場合には、パターンのぼけが生じる。この問題は、光学系の振動除去等で解決できると考えている。また、計算から構造の形状の自由度を増加させるために、多波長のレーザーの利用の可能性が示唆された。しかし、これに関しては光学系が非常に複雑になるため、現段階では実験にまでは至っていない。

We are aiming at and conducting research on the development of new atomic manipulation solutions that can make use of the non-linear nature of speed, the interference of laser light, and the shape control of surfaces. In this study, we aim to make use of PMMA PTFE membrane to construct a new type of membrane. 1. Control of radiation intensity and cross-section shape The position of the main irradiation is not accurate. The position of the main irradiation is accurate. The problem of vibration elimination of optical system is solved. In addition, the degree of freedom in calculating the shape of the structure increases, and the possibility of using multi-wavelength light is shown. The optical system is very complex, and the current stage is very complex.