课题基金 / 基金详情

コヒーレント光を用いた表面原子の一括操作法の開発研究

コヒーレント光を用いた表面原子の一括操作法の開発研究
相干光表面原子体操控方法的研究与开发
批准号：
11875159
负责人：
目黒 多加志
金额：
$0.58万
依托单位：
The Institute of Physical and Chemical Research
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
1999
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1999 至 2000
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11875159/
关键词：
コヒーレント光干渉位相制御非線形性直接パターニング周期構造非線形成

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
速度の非線形の強い系で、コヒーレント光の干渉を利用することにより、表面の形状制御を可能にする新しい原子操作プロセスの開発を目指して、研究を行った。速度の非線形性の強い系として、本研究ではレーザーアブレーションを利用してPMMAやPTFE膜のエッチングによる構造の一括作成を目指した。1パルス照射の実験において、レーザー強度の制御により、ライン・スペース比並びに断面形状の制御が可能であることが示唆された。しかし、主に照射時の位置あわせ精度の問題であると思われるが、複数回レーザーパルス照射を行った場合には、パターンのぼけが生じる。この問題は、光学系の振動除去等で解決できると考えている。また、計算から構造の形状の自由度を増加させるために、多波長のレーザーの利用の可能性が示唆された。しかし、これに関しては光学系が非常に複雑になるため、現段階では実験にまでは至っていない。
英文摘要
速度の非線形の強い系で、コヒーレント光の干渉を利用することにより、表面の形状制御を可能にする新しい原子操作プロセスの開発を目指して、研究を行った。速度の非線形性の強い系として、本研究ではレーザーアブレーションを利用してPMMAやPTFE膜のエッチングによる構造の一括作成を目指した。1パルス照射の実験において、レーザー強度の制御により、ライン・スペース比並びに断面形状の制御が可能であることが示唆された。しかし、主に照射時の位置あわせ精度の問題であると思われるが、複数回レーザーパルス照射を行った場合には、パターンのぼけが生じる。この問題は、光学系の振動除去等で解決できると考えている。また、計算から構造の形状の自由度を増加させるために、多波長のレーザーの利用の可能性が示唆された。しかし、これに関しては光学系が非常に複雑になるため、現段階では実験にまでは至っていない。
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会议论文
低速多価イオンビームによる原子操作
  • 批准号：
    11222207
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (B)
  • 资助金额：
    $33.02万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    目黒 多加志
  • 依托单位：
    The Institute of Physical and Chemical Research
原子層エッチング技術の開発研究
シリコン膜形成過程における吸着シラン分子層の炭酸ガス・レーザ照射効果
  • 批准号：
    61750287
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.45万
  • 财政年份：
    1986
  • 负责人：
    目黒 多加志
  • 依托单位：
    Waseda University
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