课题基金 / 基金详情

低速多価イオンビームによる原子操作

低速多価イオンビームによる原子操作
使用慢速多电荷离子束进行原子操纵
批准号:
11222207
负责人:
目黒 多加志
金额:
$33.02万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (B)
财政年份:
1999
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1999 至 2001

项目摘要

项目成果

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高配向性グラファイトに多価のアルゴンイオンを照射することにより、ナノサイズのダイヤモンドの創製が可能なことが、本研究の成果として得られたが、本年度はさらに作成した構造が本来持っていない新たな特性を示すことを明らかにした。高配向性グラファイトに8価のアルゴンイオンを照射した後、He-Cdレーザーを照射しイオン照射領域をsp^3を有するナノダイヤモンド様の構造に変化させ、さらにその構造を水素雰囲気中で600℃、30分間の熱処理を施すことにより、複数の特性に顕著な変化が見られた。グラファイトは可視域、紫外域には発光を示さない材料であるが、20Kで測定したカソードルミネッセンスでは、微弱ながら紫外域に発光を示すことが分かった。また、イオン照射領域に対して走査トンネル顕微鏡を用いて電界放出効果を調べたところ、化学気相成長法で作成した多結晶ダイヤモンド薄膜と同等の電界放出特性を示すことも確認された。これらの結果は、ナノスケールでの新しい材料創製を示唆する結果と考えられる。また、ラマン分光法を用いて多価イオン照射の高配向性グラファイト基板に対する効果を調べた結果、同程度のドーズ量では価数が高くなるにつれて、ディフェクティブなスペクトルが得られた。これは、価数が低い場合には、イオン照射により点欠陥が生成されるが、価数の増加に従い点欠陥の複合体が形成されることを示している。また、レーザーアブレーションによりナノ構造シリコン(Siナノ微粒子)を創製し、気相での水素表面修飾、および固相でのErとPの不純物をドーピングを試み、Siナノ微粒子の形成過程については第2レーザー照射法により時間分解PL測定を行ない、その動的過程を明らかにし、Erドーピングにより温度消光のないSiナノ結晶の作製とPドナーのSiナノ結晶へのドーピングの可能性を示した。
期刊论文(4)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
T. Mori, K. Otsuka, N. Umebara, K. Ishioka, K. Kitajima, S. Hishita, K. Murakami: "Thermal Behavior of Hydrogen Molecules trapped by Multivacancies in Silicon"Pysica B. 302-303巻. 239-243 (2001)
T. Mori、K. Otsuka、N. Umebara、K. Ishioka、K. Kitajima、S. Hishita、K. Murakami:“硅中多空位捕获的氢分子的热行为”Pysica B. Vol. 302-303。 - 243(2001)
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
T.Meguro, S.Sakamoto H.Takai, Y.Aoyagi: "Multiply-charged ion beam induced dry etching of semionductor materials"Materials Science and Engineering B. (印刷中). (2000)
T.Meguro、S.Sakamoto H.Takai、Y.Aoyagi:“半导体材料的多电荷离子束诱导干法蚀刻”材料科学与工程 B.(出版中)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
T. Meguro, A. Hida, M. Suzuki, Y. Koguchi, H. Takai, Y. Yamamoto, K. Maeda, Y. Aoyagi: "Nanoscale modification of electronic states of graphite by highly charged Ar-ion irradiation"Journal of Vacuum Science and Technology. B19巻・6号. 2745-2748 (2001)
T. Meguro、A. Hida、M. Suzuki、Y. Koguchi、H. Takai、Y. Yamamoto、K. Maeda、Y. Aoyagi:“通过高电荷 Ar 离子照射对石墨电子态进行纳米级改性”杂志真空科学与技术。B19 卷,第 6 期。2745-2748 (2001)
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
K. Hata, S. Yoshida, M. Fujita, S. Yasuda, T. Makimura, K. Murakami, H. Shigekawa: "Self-assembled Monolayer as a Template to deposit Silicon Nanoparticles fabricated by laser Ablation"J. Physical Chemistry. B105巻. 10842-10846 (2001)
K. Hata、S. Yoshida、M. Fujita、S. Yasuda、T. Makimura、K. Murakami、H. Shigekawa:“自组装单层作为模板沉积通过激光烧蚀制造的硅纳米粒子”J。卷 B105。10842-10846 (2001)
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
コヒーレント光を用いた表面原子の一括操作法の開発研究
原子層エッチング技術の開発研究
シリコン膜形成過程における吸着シラン分子層の炭酸ガス・レーザ照射効果
  • 批准号:
    61750287
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.45万
  • 财政年份:
    1986
  • 负责人:
    目黒 多加志
  • 依托单位:
海外基金