高分子超薄膜の表面機能のパターニングと表面ダイナミクスの二次元制御

超薄膜聚合物表面功能的图案化和表面动力学的二维控制

基本信息

  • 批准号:
    13031066
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.15万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 财政年份:
    2001
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2001 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

アルキルトリメトキシシランあるいほフルオロアルキルトリメトキシランの気相からの化学吸着重合、あるいはアルキルトリクロロシランあるいはフルオロアルキルトリクロロシラン液相からの化学吸着重合により有機シラン単分子膜をシリコンウエハー基板上に固定化した。単分子膜の形成は接触角測定による表面自由エネルギー測定、X線光電子分光測定(XPS)ならびに赤外吸収分光測定に基づき評価した。得られた単一成分の有機シラン単分子膜にフォトマスクを通して波長172nmの真空紫外光を照射し、局所的な光分解を行った。光分解した部分にはシラノール基が露出していることをXPSと飛行時間型二次イオン質量分析測定(ToF-SIMS)による二次イオン分布のイメージングで確認した。Siの露出した領域に異なる表面自由エネルギーを有する有機シラン単分子膜を固定した。二成分系有機シラン単分子膜の形成は水平力顕微鏡観察による摩擦力の違いの分布とToF-SIMSによる二次イオン分布のイメージングにより確認した。さらにラインパターンの方向を90°変化させて、膜形成、露光による分解、膜形成を繰り返し、表面自由エネルギーの著しく異なるアルキル、フルオロアルキル、アミノ基を有する3成分系の相分離表面の構築し、各相の表面物性の違いをLFM測定に基づき明らかにした。
The chemical adsorption of the organic phase is carried out on the substrate. The formation of a single molecular film, contact angle measurement, surface free growth measurement, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and infrared absorption spectroscopy were evaluated. A single component of the organic monomer film was obtained by irradiation with vacuum ultraviolet light at a wavelength of 172nm. Photodecomposition of organic matter is a process for determining the time of flight of XPS and its secondary component mass analysis. The surface of the silicon layer is free from impurities. The formation of two-component organic polymer films was confirmed by the distribution of friction force and the distribution of friction force in the horizontal force microscope. 3. Phase separation surface construction of component system, surface physical properties of each phase, LFM measurement, film formation, decomposition of light, film formation, surface free growth, and surface separation.

项目成果

期刊论文数量(5)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
A.Takahara, K.Kojio, T.Kajiyama: "Effect of Aggregation State on Nanotribological Behaviors of Organosilane Monolayers"Ultramicroscopy. (in press). (2002)
A.Takahara、K.Kojio、T.Kajiyama:“聚集状态对有机硅烷单层纳米摩擦学行为的影响”超声显微镜。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
A.Takahara, Y.Hara, K.Kojio, T.Kajiyama: "Scanning Force Microscopic Study of Protein Adsorption on the Surface of Organosilane Monolayers Prepared by the Langmuir-Blodgett Method"Macromol.Symp.. 27. 273-286 (2001)
A.Takahara、Y.Hara、K.Kojio、T.Kajiyama:“通过 Langmuir-Blodgett 方法制备的有机硅烷单分子层表面蛋白质吸附的扫描力显微镜研究”Macromol.Symp.. 27. 273-286 (2001
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
K.Kojio, A.Takahara, T.Kajiyama: "Aggregation Structure and Surface Properties of Immobilized Fluoroalkylsilane and Their Mixed Monolayers"ACS Symp.Ser. 787. 31-47 (2001)
K.Kojio、A.Takahara、T.Kajiyama:“固定化氟烷基硅烷及其混合单分子层的聚集结构和表面性质”ACS Symp.Ser。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
A.Takahara, Y.Hara, K.Kojio, T.Kajiyama: "Plasma Protein Adsorption Behavior onto the Surface of Phase-separated Organosilane Monolayers on the basis of Scanning Force Microscopy"Coil. Surf. B. 23. 141-152 (2002)
A.Takahara、Y.Hara、K.Kojio、T.Kajiyama:“基于扫描力显微镜的相分离有机硅烷单层表面上的血浆蛋白吸附行为”线圈。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
K.Kojio, K.Tanaka, A.Takahara, T.Kajiyama: "New Method to Prepare Organosilane Monolayers on Solid Substrate"Bull.Chem.Soc., Japan. 74. 1397-1401 (2001)
K.Kojio、K.Tanaka、A.Takahara、T.Kajiyama:“在固体基质上制备有机硅烷单层的新方法”Bull.Chem.Soc.,日本。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
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