Imaging of Spatial Distribution of Particles in Plasmas using Miniature Mass Spectrometers

使用微型质谱仪对等离子体中粒子的空间分布进行成像

• 批准号: 13680552
• 负责人: BANNO Tatsuya
• 金额: $ 2.3万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2001 至 2003
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-13680552/
• 关键词: High Density Plasma; Ambipolar Diffusion; Spatial Distributor of Plazma; Miniature Mass Spectrometer; Mean Free Path; プラズマパラメータの空間分布; 超小型質量分析器; 表面波モード; イオン生成速度; ラジカル生成速度; イオンフラックス計測; 超小型質量分析

1.High-density plasmas have been generated in a cylindrical discharge vessel using a Pyrex view port and a ring-slotted microwave launcher.2.The probe diagnostic technique employing an extremely asymmetric double probe allows the measurements of spatial distribution of plasma parameters and of electron energy distribution functions. The classical ambipolar diffusion of plasma takes place with an intense ionization region in the vicinity of plasma / glass interface.3.Miniature mass spectrometers have been utilized to measure particle densities in the plasma region. Elaborate measurements have shown that ion flux generated at the plasma / glass interface are qualitatively detected and that the azimuth angle dependence of the flux are correlated with the symmetry of the distribution of the ionization rate at the interface.

1.利用Pyrex观察口和环形开槽微波发射器在圆柱形放电管中产生了高密度等离子体。2.采用极不对称双探针的探针诊断技术可以测量等离子体参数的空间分布和电子能量分布函数。等离子体的经典双极扩散发生在等离子体/玻璃界面附近的强电离区域。3.微型质谱仪已被用来测量等离子体区域中的粒子密度。详细的测量表明，在等离子体/玻璃界面处产生的离子通量被定性地检测到，并且通量的方位角依赖性与界面处的电离率分布的对称性相关。

项目成果

伴野 達也: "超高真空仕様表面波励起高密度プラズマ発生装置の評価"真空. 47. 281-284 (2004)

坂野达也：“超高真空规格表面波激发高密度等离子体发生器的评估”真空。 47. 281-284 (2004)

Tatsuya Banno: "Generation of UHV Compatible Plasmas by Surface Wave Modes and Their Diagnostics"Proc.20 Symp.Plasma Processing. 91-92 (2003)

Tatsuya Banno：“通过表面波模式生成 UHV 兼容等离子体及其诊断”Proc.20 Symp.Plasma 处理。

伴野達也: "超高真空仕様表面波励起高密度プラズマ発生装置の評価"真空. 47・3(印刷中). (2004)

坂野达也：“超高真空规格表面波激发高密度等离子体发生器的评估”真空47・3（出版中）。

伴野達也: "超小型質量分析計を用いたプラズマプロセス中の粒子測定"第49回質量分析総合討論会講演要旨集. 162-163 (2001)

Tatsuya Banno：“使用超紧凑型质谱仪测量等离子体过程中的粒子”第 49 届质谱大会摘要 162-163 (2001)。

Tatsuya Banno: "Generation of UHV Compatible Plasmas by Surface Wave Modes and their Diagnostics"Proc.20th Symposium on Plasma Processing. 91-92 (2003)

Tatsuya Banno：“通过表面波模式及其诊断产生 UHV 兼容等离子体”Proc.20th 等离子体处理研讨会。