携帯情報端末機器用高機能性薄膜ELデバイスのゾル・ゲル法による作製

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本年度は以下の研究計画に基づき、研究を実施した。1)前年度確立したゾルーゲル法による成膜技術を発展させて大面積100mm×50mm基板(BaTiO_3セラミックシート)上に酸化物蛍光体薄膜及び金属酸化物透明導電膜を安価に形成する技術を確立した。特に、(Zn_2SiO_4-ZnGe_2O_4):Mn薄膜を発光層に用いた薄膜EL素子において、高輝度大面積発光をを実現できた。2)大面積薄膜作製技術を用いて、薄膜ELデバイス及びハイブリッド型ELデバイスを作製してEL特性を評価すると共に、駆動方式を検討し、ELディスプレイ製造技術を確立する。上記計画に対しては、(1)で述べたように大面積EL素子を実現できた。また、ハイブリッド型ELデバイスの作製に関しては、上記成膜技術を応用した絶縁層作製技術を検討し、基礎的なデータを取ることができた。駆動技術に関しては、インバータ回路を工夫し、小型のEL素子用ドライバーを製作した。3)セラミックス形ELディスプレイの最適な電極パターニング技術確立して、大面積(100mm×50mm)の動画表示を実現する。上記計画に対しては、申請者らが開発に成功した電子サイクロトロン共鳴(ECR)水素プラズマを用いるドライエッチング技術を駆使して、マトリクス表示可能な大面積(100mm×50mm)ELディスプレイの作製に成功した。4)並行して、更なる大面積BaTiO_3セラミックシート上への最適な酸化物蛍光体薄膜及び金属酸化物透明導電膜の作製技術を検討する。上記計画に対しては、大面積に均一にゾル・ゲル溶液を塗布するための溶液調整技術及び塗布技術を確立できた。以上の結果より、本年度の研究目標は十分に達成できた。