非対称三重結合量子井戸における電界誘起屈折率効果とその光変調デバイスへの応用
非対称三重結合量子井戸における電界誘起屈折率効果とその光変調デバイスへの応用
批准号:
13750304
负责人:
荒川 太郎
金额:
$1.54万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份:
2001
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2001 至 2002
中文摘要
本研究は,新たに考案した非対称三重結合量子井戸構造(Asymmetric Triple Coupled Quantum Well, ATCQW)を作製し,超広波長域(超多波長)・超高速・超低電圧,低チャープの屈折率変化型多重量子井戸光変調デバイスへ応用することを目的とする.2年目にあたる今年度は,以下の成果が得られた.光変調デバイスの作製には至らなかったがGaAs/AlGaAs-ATCQWおよびInGaAs/InAlAs-ATCQW長波長帯の作製技術の基礎を確立できた.1.GaAs/AlGaAs-ATCQWを有する光変調器の作製と特性評価ATCQWのひとつで,透明波長領域で負の巨大な屈折率変化特性が得られるGaAs/AlGaAs-ATCQW (modified FACQW)構造について,光吸収電流特性測定を行い,理論計算結果と傾向が一致することを明らかにした.2.長波長帯ATCQWの作製および特性評価光通信用長波長帯ATCQWの作製を目指し,InP基板上へのInGaAs/InAlAs系材料のMBE結晶成長条件の最適化等を行い,高品質InGaAs/InAlAs量子井戸構造の作製に成功した.これにより,長波長帯ATCQW作製の見通しがついた.3.光制御デバイス作製法の研究光制御デバイスの作製のため,メタン・水素/酸素交互供給によるInP,InGaAs,InAlAsなどで構成される多層薄膜およびGaNのECR-RIEエッチングについて研究し,良好な表面平滑性と端面垂直性を得るためのプロセス条件を確立した.
英文摘要
本研究は,新たに考案した非対称三重結合量子井戸構造(Asymmetric Triple Coupled Quantum Well, ATCQW)を作製し,超広波長域(超多波長)・超高速・超低電圧,低チャープの屈折率変化型多重量子井戸光変調デバイスへ応用することを目的とする.2年目にあたる今年度は,以下の成果が得られた.光変調デバイスの作製には至らなかったがGaAs/AlGaAs-ATCQWおよびInGaAs/InAlAs-ATCQW長波長帯の作製技術の基礎を確立できた.1.GaAs/AlGaAs-ATCQWを有する光変調器の作製と特性評価ATCQWのひとつで,透明波長領域で負の巨大な屈折率変化特性が得られるGaAs/AlGaAs-ATCQW (modified FACQW)構造について,光吸収電流特性測定を行い,理論計算結果と傾向が一致することを明らかにした.2.長波長帯ATCQWの作製および特性評価光通信用長波長帯ATCQWの作製を目指し,InP基板上へのInGaAs/InAlAs系材料のMBE結晶成長条件の最適化等を行い,高品質InGaAs/InAlAs量子井戸構造の作製に成功した.これにより,長波長帯ATCQW作製の見通しがついた.3.光制御デバイス作製法の研究光制御デバイスの作製のため,メタン・水素/酸素交互供給によるInP,InGaAs,InAlAsなどで構成される多層薄膜およびGaNのECR-RIEエッチングについて研究し,良好な表面平滑性と端面垂直性を得るためのプロセス条件を確立した.
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K.Tada, T.Arakawa, J.-H.Noh, T.Suzuki, Y.Okamiya: "Optical Modulators Based on Potenitial-Tailored Quantum Wells for Broad Band Optical Fiber Communication"Int'l Conf. on Broad Band Optical Fiber Communication Technology(BBOFCT-2001). 119-124 (2001)
K.Tada、T.Arakawa、J.-H.Noh、T.Suzuki、Y.Okamiya:“用于宽带光纤通信的基于潜在定制量子阱的光调制器”国际会议。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
T.Suzuki, J.H.Noh, T.Arakawa, K.Tada, et al.: "Fabrication and Optical Characterization of Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well (FACQW)"Jpn. J. Appl. Phys.. 41,4B. 2701-2706 (2002)
T.Suzuki、J.H.Noh、T.Arakawa、K.Tada 等人:“五层不对称耦合量子阱 (FACQW) 的制造和光学表征”Jpn。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
K.Tada, T.Arakawa, J.-H.Noh, T.Suzuki: "Wideband and Low Voltage Waveguide Modulators with Asymmetric Coupled QWs beyond 40 Gb/s"2001 IEEE/LEOS Annual Meeting Conference Proceedings. 1. 38-39 (2001)
K.Tada、T.Arakawa、J.-H.Noh、T.Suzuki:“具有超过 40 Gb/s 的非对称耦合 QW 的宽带和低压波导调制器”2001 IEEE/LEOS 年会会议记录。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
N.Haneji, G.Segami, K.Ide, T.Suzuki, T.Arakawa, K.Tada, et al.: "Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of III-V Semi-conductors by Cyclic Injection of CH_4/H_2/Ar and O_2 with Constant Ar Flow"Jpn. J. Appl. Phys.. 42,6B(掲載予定). (2003)
N.Haneji、G.Segami、K.Ide、T.Suzuki、T.Arakawa、K.Tada 等人:“通过循环注入 CH_4/H_2 进行 III-V 族半导体的电子回旋共振-反应离子蚀刻” /Ar and O_2 with Constant Ar Flow"Jpn. J. Appl. Phys.. 42,6B(待出版)。(2003)
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
K.Tada, T.Arakawa, J.-H.Noh, T.Suzuki, Y.Okamiya: "Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well --A Promising Nanostructure with Tailored Potential--"Proceedings of the 6th China-Japan Symposium on Thin Films (CJSTFVI). 16-19 (2001)
K.Tada、T.Arakawa、J.-H.Noh、T.Suzuki、Y.Okamiya:“五层不对称耦合量子阱——具有定制潜力的有前景的纳米结构——”第六届中日研讨会论文集
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
共 12 条
高速光ファイバー無線システムのための偏波無依存アンテナ集積半導体光変調器の実現
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批准号:24K01381
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$11.9万
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财政年份:2024
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负责人:荒川 太郎
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依托单位:
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批准号:21K18169
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财政年份:2021
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负责人:荒川 太郎
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依托单位:
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批准号:21H01841
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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财政年份:2021
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负责人:荒川 太郎
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依托单位:
五層非対称結合量子井戸と光制御デバイスへの展開
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批准号:19023003
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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财政年份:2007
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负责人:荒川 太郎
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依托单位:
五層非対称結合量子井戸光スイッチングデバイス
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批准号:18040003
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$2.37万
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财政年份:2006
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负责人:荒川 太郎
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依托单位:
超広波長帯・超高速多重量子井戸光変調デバイス
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批准号:13026209
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$42.24万
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财政年份:2001
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负责人:荒川 太郎
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依托单位:
量子ナノ構造を用いた光変調デバイスの研究
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批准号:11750285
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$1.41万
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财政年份:1999
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负责人:荒川 太郎
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依托单位: