交換結合バイアス法を用いた高周波キャリア型薄膜磁界センサのマイクロヘッド化

利用交换耦合偏置法开发高频载波型薄膜磁场传感器的微头

• 批准号: 14750268
• 负责人: 竹澤 昌晃
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Kyushu Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2002 至 2003
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-14750268/
• 关键词: 高周波キャリア型磁界センサ; 磁気インピーダンス; MIセンサ; 強磁性; 反強磁性結合; 磁界センサ

本研究の目的は、室温動作が可能でSQUID相当の高磁界感度を有する高周波キャリア型薄膜磁界センサにおいて、磁気ヘッド形状での小型化を実現することである。巻線の無い小型磁気ヘッド構造を実現するために、強磁性膜と反強磁性膜を積層したセンサ素子を作製し、交換磁気異方性を利用した一方向異方性の導入による磁界感度向上について検討した。この際の重要なパラメータである皮強磁性膜の組成、膜厚、積層化の順序、層数の最適化を行い、本構造での設計指針を確立。さらに、この巻線無しの小型センサ素子において、フィードバック導体ラインの配置、寸法・構造の最適化を行い、薄膜ヘッド構造のセンサ素子を実現することを最終目標とした。本年度は、前年度の知見により得られた強磁性層と反強磁性層を積層して得られる交換磁気異方性を利用した高感度センサ素子を、薄膜ヘッドとして実用化するため重要なフィードバック導体ラインの設置方法、センサ素子磁界検出方向の最適化、およびそのフィードバック動作について検討した。薄膜ヘッドにおいて、フィードバック導体ラインは磁界を検出する対象物との距離(リフトオフ)が最小となるように、センサ素子の直上に平行に配置した。このため、センサの磁界検出方向が従来の検出方向とは90度異なることになり、この場合の磁界検出特性および磁界感度を調べた。その結果、磁界感度は低下するものの、巻線無しで高感度なセンサ出力を実現できることが分かった。また、実際にセンサ直上に配置した導体ラインに電流を通電することで、センサ素子出力を制御できることを明らかとした。これらの研究成果は、高周波キャリア型磁界センサにおいて、巻線構造無しでの薄膜ヘッド化を世界ではじめて実現したものであり、本センサの高密度磁気記録や生体磁気計測応用の産業レベルでの実用化において極めて重要な成果であると言える。

The purpose of this study is that room temperature operation is possible because SQUID has high magnetic field sensitivity and high frequency. The リア type thin film magnetic field is made of thin film, and the shape of the magnetic field is miniaturized and the shape is reduced. The coiled wire has a small magnetic field structure, a ferromagnetic film and an anti-ferromagnetic film, and a laminated film. To make use of the exchange magnetic anisotropy, we can introduce the anisotropy in one direction and make the magnetic field sensitivity go up. It is important to establish the composition, film thickness, order of lamination, optimization of the number of layers, and design guidelines for the structure of the ferromagnetic film.さらに、この巻线无しの小センサ真子において、フィードバック Conductor ラインの configuration, size Method and structure of the optimization of the line, thin film structure of the structure of the elements and the final goal of the final goal. This year's and the previous year's knowledge of the layering of the ferromagnetic layer and the anti-ferromagnetic layer were achieved. Obtained exchange magnetic anisotropy and utilized high-sensitivity magnets and thin-film magnets How to set up the practical use of the conductor and the main conductor, and how to set it up Optimization of the direction of the magnetic field 検, and the movement of およびそのフィードバック について検した. Thin film ヘッドにおいて, フィードバック conductor ラインは magnetic boundary を検出 する対肖物とのDistance (リフトオフ)がminimumとなるように、センサ素子のstraight upにparallel configurationした.このため、センサのMagnetic Realm 検Out direction が従来の検Out direction とは90 degree differentなることになり、この occasion のMagnetic Realm 検出Characteristics および Magnetic Realm Sensitivity を Adjustment べた.その result, the magnetic field sensitivity is low, the magnetic field sensitivity is low, the coil line is high, the sensitivity is high, and the magnetic field sensitivity is low.また、実记にセンサDirect configuration したConductor ラインにCurrent をElectricity すYuki and Yuki Motoko contribute to the control of Yuki and Yuki. The research results of これらのは, high frequency キャリア type magnetic boundary センサにおいて, The coil structure has no thin film and the world has been transformed into a thin film. This is a high-density magnetic recording and biomagnetic measurement and measurement application for industrial use. Important achievements are made.

项目成果

Masaaki Takezawa: "Antiferromagnetic Coupled High-Frequency Carrier-Type Magnetic Field Sensor Using Ni-Fe/Fe-Mn Multilayer"IEEE Transactions on Magnetics. 38,5. 3150-3152 (2002)

Masaaki Takezawa：“使用 Ni-Fe/Fe-Mn 多层的反铁磁耦合高频载波型磁场传感器”IEEE 磁性学报。

Masaaki Takezawa: "Asymmetric High-Frequency Carrier-Type Magnetic Field Sensor with Thin-Film Head Structure"IEEE Transactions on Magnetics. in press. (2004)

Masaaki Takezawa：“具有薄膜磁头结构的非对称高频载波型磁场传感器”IEEE Transactions on Magnetics。

Masaaki Takezawa: "Optimum Driving of Magnetostrictive Amorphous Wire Micro-Motor"Journal of Magnetism and Magnetic Materials. in press. (2004)

Masaaki Takezawa：“磁致伸缩非晶线微电机的优化驱动”磁性与磁性材料杂志。

竹澤昌晃: "磁壁ピンニングを施した高周波キャリア型薄膜磁界センサヘッド用磁性膜の検討"日本応用磁気学会誌. 26,4. 559-561 (2002)

Masaaki Takezawa：“具有磁畴壁钉扎的高频载体型薄膜磁场传感器头的磁性薄膜的研究”日本应用磁学学会杂志26,4（2002）。

竹澤昌晃: "微細磁性体の磁区観察による磁化反転機構の検討"日本応用磁気学会誌. 28・3. 384-387 (2004)

竹泽正明：“通过观察精细磁性材料的磁畴来研究磁化反转机制”日本应用磁学学会杂志28・3（2004）。