课题基金 / 基金详情

高精度プラズマプロセスのためのオンウェハーモニタリングシステムに関する研究

高精度プラズマプロセスのためのオンウェハーモニタリングシステムに関する研究
高精度等离子体工艺在片监测系统研究
批准号：
04F04143
负责人：
寒川 誠二
金额：
$0.77万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2004
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2004 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-04F04143/
关键词：

项目摘要

项目成果

寒川 誠二的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
High-mobility Semiconductor Devices due to Control of Phonon Field caused by Defect-free Nano-periodic Structures
  • 批准号：
    20H05649
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
  • 资助金额：
    $124.8万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    寒川 誠二
  • 依托单位：
    Tohoku University
中性粒子ビーム表面改質によるカーボンナノチューブ構造・物性制御と電気特性
  • 批准号：
    20651039
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.98万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    寒川 誠二
  • 依托单位：
    Tohoku University
サブ10nm量子ドットの超解像近接場分光
  • 批准号：
    16656027
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.24万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    寒川 誠二
  • 依托单位：
    Tohoku University
超高精度プラズマプロセス用オンウエハーモニタリングシステムの構築
  • 批准号：
    14655030
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.18万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    寒川 誠二
  • 依托单位：
    Tohoku University