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サブ10nm量子ドットの超解像近接場分光

亚10nm量子点的超分辨率近场光谱

基本信息

批准号：
16656027
负责人：
寒川誠二
金额：
$ 2.24万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

昨年度に作製したサブ10nm量子ドット(ナノカラム)の作製条件最適化を行った。ナノカラムの直径は、シリコン基板表面に存在する自然酸化膜の影響で、エッチングマスクであるフェリチン鉄コアの直径(7nm)よりも大きくなってしまう傾向があった。しかし、エッチングに用いる中性粒子ビームのエネルギーやガスケミストリー(塩素、フッ素)を最適化することで、その影響を最小限に抑制し、直径が細く垂直性が高いサブ10nm量子ドット(ナノカラム)を高密度に作製できることが示された。また、TEMおよびESRの観測より、ナノカラムは結晶構造を完全に維持し、表面は原子レベルで平坦であり、表面における欠陥(Pbセンター)の密度も4.7×10^<11>cm^<-2>と極めて低いことが分かった。超解像近接場光プローブの開発を行った。昨年に引き続き、近接場光を増強するためのBow-tieアンテナ型のプローブを試作し、評価を行った。プローブは、光を集光して増強するアンテナ、およびアンテナを機械的に駆動して効率をあげるための静電駆動機構から構成されている。これまで問題になっていたプローブの形状の非対称性を改善するため、新しい作製方法を開発し、サブ波長の高分解能が達成できた。このプローブを既に導入されている原子間力顕微鏡(AFM)のカンチレバーに設置し、Arイオンレーザーと組み合わせて近接場光を発生させる装置を開発した。また、近接場光による分光ができるかどうかの実験を進めた。さらに、当該プローブを量子ドットに適用する実験を進めた。

The optimization of the manufacturing conditions for the 10nm quantum device was carried out last year. The diameter of the iron tube (7nm) tends to increase due to the influence of the presence of a natural acidified film on the surface of the substrate. Neutrals are optimized to minimize their effects on particle size and diameter, and to increase verticality to 10nm in diameter and density. The crystal structure is completely maintained, the surface is flat, and the density of the surface is 4.7×10^<11>cm<-2>. Super Resolution Near Field Light Source Last year's launch of the Bow-tie, near-field light enhancement test, evaluation The structure of the electrostatic drive mechanism is composed of the following components: This problem is solved by improving the asymmetry of the shape of the film, and by developing a new manufacturing method to achieve high resolution of the film wavelength. This device has been introduced into the interatomic force microscope (AFM), and the device has been developed to generate near-field light through the combination of Arinelyne and components. The light of the near field is divided into two parts. When the time comes, you will be able to move forward.