三次元ナノインプリント技術の開発

三维纳米压印技术的发展

• 批准号: 15710096
• 负责人: 谷口 淳
• 金额: $ 1.73万
• 依托单位: Tokyo University of Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2003 至 2004
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15710096/
• 关键词: ナノインプリント; SOG; 電子ビーム描画; 石英; ダイヤモンド

本研究では、SOG (Spin-On-Glass)を用いた加速電圧変化電子ビーム露光による三次元モールドの作製とナノインプリントによる転写の研究をおこなっている。SOGは加速電圧に対して精密な深さ制御が可能なレジストであり、それを利用して、アナログの加速電圧変化波形を入力しながら、電子ビームを走査して露光を行った。加速電圧を2kVに固定して試料台の電圧を200Vの振幅を持つ正弦波で電圧を変化させ、電子ビームの露光と同時に電圧を印加して露光を行った。その後、現像し作製された形状を原子間力顕微鏡(AFM)で測定した。その結果、1周期が8μmで振幅が40nmの正弦波形状が得られた。この技術を応用した例としては、マイクロレンズアレイやレンチキュラーレンズなどへの応用が考えられる。次に、ナノ三次元形状のモールドとそれによる転写を行った。作製した石英モールドは、大きい方のパターンは、直径が5μmで深さが311nmとなり、小さい方のパターンは直径が600nmで深さが143nmとなった。これをモールドとして、光硬化樹脂を用いて転写したところ、大きい方のパターンは直径が5μmで高さが307nmとなり、小さい方は直径が600nmで高さが140nmとなった。これによって、若干モールドのパターンサイズよりも小さくなっていることが分かる。これは、光硬化樹脂の体積収縮によるもので、実際のモールドを作製する上では、この体積収縮率を考慮してモールドを設計する必要がある。これまでの結果から、SOGを用いたプロセスによって、所望の三次元モールドを作製でき、樹脂などの製品の量産が可能であることが示せた。

In this paper, we study the application of SOG (Spin-On-Glass) to accelerate the voltage conversion of electrons. SOG acceleration voltage is controlled by precise control, and the acceleration voltage waveform is detected by electron exposure. The acceleration voltage is fixed at 2kV, and the voltage of the test bench is 200V. The amplitude of the sine wave is maintained. The voltage is changed, the electron is exposed, and the voltage is exposed. The shape of the image was determined by atomic force microscopy (AFM). As a result, 1 period is 8μm, amplitude is 40nm, and sine wave shape is obtained. This technology is used to test and test the effectiveness of the system. Second, the three-dimensional shape and the shape of the line. For quartz crystal, the diameter is 5μm, the depth is 311nm, and the diameter is 600nm, the depth is 143nm. The diameter of the light-curable resin is 5μm and the height is 307nm. The diameter of the light-curable resin is 600nm and the height is 140nm. This is the first time I've ever seen a woman who's had sex with someone else. Therefore, the volume shrinkage of photocurable resin is necessary for the design of photocurable resin. The result is that SOG can be used to produce the desired three-dimensional resin, which can be mass-produced.

项目成果

3D imprint technology using substrate voltage change

利用基板电压变化的3D压印技术

• 发表时间: 2004
• 期刊: Applied Surface Science 238
• 作者: Y.Nakayama;L.Pan;O.Suekane;T.Nosaka;T.Nosaka Toshikazu;Jun Taniguchi et al.
• 通讯作者: Jun Taniguchi et al.

3D Mold Fabrication Techniques Using an Inorganic Resist

使用无机抗蚀剂的 3D 模具制造技术

• 发表时间: 2004
• 期刊: Transaction of the Magnetics Society of Japan Vol.4, No.4-2
• 作者: Y.Nakayama;L.Pan;O.Suekane;T.Nosaka;T.Nosaka Toshikazu;Jun Taniguchi et al.;Jun Taniguchi et al.
• 通讯作者: Jun Taniguchi et al.