3D imprint technology using substrate voltage change

3D imprint technology using substrate voltage change
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利用基板电压变化的3D压印技术

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Applied Surface Science 238
影响因子:
--
通讯作者:
Jun Taniguchi et al.
Jun Taniguchi et al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y.Nakayama;L.Pan;O.Suekane;T.Nosaka;T.Nosaka Toshikazu;Jun Taniguchi et al.

文献摘要

参考文献

被引文献

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