複合マイクロアクチュエータ創製システムに関する研究

点击翻译按钮获取中文摘要

18年度:マイクロアクチュエータの遠隔操作方法の検討昨年度に続き、外部交流磁場を用いた電磁誘導によるエネルギ供給方法と、外部磁場の周波数変調による情報伝達方法の検討を行った。昨年度に試作した駆動回路を用いた実験では、外部磁場を印可することでIPMCアクチュエータの駆動に成功した。今年度はこの駆動回路を再設計し、MICSサービスを利用してICチップ化を行い、小型化を行った。今後、このチップを用いてマイクロアクチュエータの遠隔操作を行う。IPMCアクチュエータの性能向上に関する検討IPMCアクチュエータの性能向上を検討した。まず、これまでに行っていた製作プロセスにおける温度制御を改良したところ、同じ入力電圧に対する変位量が50%以上向上した。次に、IPMC内部のカウンタイオンについて複数の材料を用い、材料による動作特性の比較を行った。以上の結果を踏まえて、マイクログリッパに用いるIPMCアクチュエータを作製した。複合マイクロアクチュエータ創製システムによるマイクロマシン作製技術の検討IPMCアクチュエータを動力源とした、マイクログリッパの開発を目標とし、マイクロマシン作製技術の検討を行った。マイクログリッパの作製方法としてはマイクロ光造形法を用いた。また、既存の技術であるレーザー光強度の変化による硬化部分のヤング率制御(特許第3867146号)と同等の結果が得られる手法として、新たに積層間隔の変化によるヤング率の制御(特許出願2007-092615)を開発した。これらの技術を用いて、マイクログリッパ本体の試作を行った。IPMCアクチュエータについては切り出しによる小型化と、小型電極の製作に成功した。