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ナノ粒子技術による新規マイクロパターン機能材料の合成と応用

纳米粒子技术新型微图案功能材料的合成及应用

基本信息

批准号：
05F05418
负责人：
桑原誠
金额：
$ 1.54万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2005
资助国家：
日本
起止时间：
2005 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究期間中に得られた主な成果を以下に記す。1)Si基板上へのBaTiO_3ナノ結晶薄膜の作製Si基板上にC_6H_5NHC_3H_6Si(OMe)_3-SAM薄膜を形成し、この基板をアニリンモノマー塩酸酸性溶液中に浸漬後、重合させ導電性ポリアニリン(PANI)薄膜を形成した。この高分子電極上に厚さ10μm以上のBaTiO_3ナノ結晶薄膜をEPD法により作製する技術を確立した。(J.Eur. Ceram. Soc. 28,101-108(2008)に発表2)モールドを用いないITO透明電極上へのBaTiO_3ナノ結晶マイクロパターンの形成ITO基板上に厚さ5μmのホトレジスト膜を作製し、リソグラフィ技術を用いて種々のパターン電極を形成した。このITOパターン電極とPt/Siなど、任意の導電基板を5μmのホトレジスト膜を挟んで対向させこのギャップ中にBaTiO_3ナノ粒子サスペンションを注入した後、EPD法により任意の導電電極上にITOパターン電極のパターンを転写したBaTiO_3ナノ粒子パターンを作製することに成功した。このモールドレスパターン技術はナノ結晶デバイスの新規作製法として期待される。(J. Electroceramicsに投稿中)3)逆オパール中へのBaTiO_3ナノ結晶へのEPD充填ポリスチレン球を充填して作製したオパールフォトニック結晶の間隙に、10nm-BaTiO_3粒子をEPD法により充填し、強誘電体逆オパールの作製に成功した。(J. Am. Ceram. Soc., 90, 4062-65(2007)に発表)

The main results obtained during the study period are listed below. 1) Preparation of BaTiO_3-SAM thin films on Si substrates C_6H_5NHC_3H_6Si(OMe)_3-SAM thin films on Si substrates were formed. The technology for preparing BaTiO_3 crystalline thin films with a thickness of more than 10μm on polymer electrodes has been established by EPD method. (J.Eur. Ceram. Soc. 28, 101 -108(2008), Issue 2) BaTiO_3 Crystallization on ITO Transparent Electrodes for the Preparation of 5μm Thick ITO Film on ITO Substrate, and the Application of Technology for the Formation of ITO Transparent Electrodes. After the injection of BaTiO_3 particles into the ITO electrode and Pt/Si film on any conductive substrate, the EPD method was successfully used to fabricate the ITO electrode and Pt/Si film on any conductive substrate. The new method for preparing crystal particles is expected to be developed. (J. 3) BaTiO_3 particles in reverse phase were successfully filled into the gap between crystals by EPD method, and 10 nm BaTiO_3 particles in reverse phase were successfully filled into the gap between crystals by EPD method. (J. Am. Ceram. Soc., 90, 4062-65(2007)