低プラントル数流体における液柱内マランゴニ対流現象の解明
低プラントル数流体における液柱内マランゴニ対流現象の解明
批准号:
05J02377
负责人:
白鳥 英
金额:
$1.15万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份:
2005
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2005 至 2006
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英文摘要
融液からの半導体結晶成長時には,振動化した温度差マランゴニ対流が不純物縞の生成要因となることが明らかとなっており,このような材料プロセスによる製品の高品質化・技術向上においては,マランゴニ対流の理解と制御が必要不可欠である.金属融体に代表される低プラントル数流体では,これまで実験的研究と数値解析的研究で,流れの駆動力であるマランゴニ数に大きなギャップがあることが相互理解の妨げとなってきた.特に,実験的に低駆動力流れを実現することが戦略的な要求となっている.本研究では,従来用いられてきたハーフゾーン液柱において,自由表面の一部を酸化膜などで覆うことで,実験的に低駆動力流れを実現できる可能性に着目し,このモデルにおける流れの理解を目的とした数値解析的研究を進めてきた.前年度までに,自由表面を局在化した場合には,通常の液柱系では見られない,軸対称定常流から振動流への直接遷移が起こることを見出した.本年度は,この系における不安定性メカニズムについて整理し,体系的な理解を与えることを目的として,さらに詳細なエネルギー解析を広範な幾何学条件について実施した.結論として得られた知見は以下である.低温ディスクと自由表面とが直接接続されているか否かが,不安定性の変化における幾何学的な要件である.直接接続されている場合には,軸対称定常流の安定臨界マランゴニ数が通常のハーフゾーンと同程度で,不安定性メカニズムが常に同一となるため,実験的に低駆動力流れの実現する場合に従来のハーフゾーンの代替として有効であると結論した.流れ場の対称性を表す周方向波数については,幾何学条件への依存性として本研究で経験則を提示した.一方,低温ディスクと自由表面との間に固体膜が設けられている場合には,自由表面を局在化する割合によって,少なくとも4種類の異なる不安定性メカニズムが出現し,このうち2つは通常液柱では見られない振動型の不安定性である.楕円型不安定性が幾何学形状に大きく依存し,遠心力不安定性とのバランスが変化することが,全体との不安定性の多様化において支配的な要因である.これらの成果の一部は日本金属学会,日本機械学会などで報告し,Physics of Fluidsなどの学術雑誌にて発表した.
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Non-contact measurement of surface oscillation due to Marangoni flow instability in a silicon liquid bridge by phase-shift interferometry
通过相移干涉法非接触测量硅液桥中马兰戈尼流动不稳定性引起的表面振荡
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Journal of Materials Science 40,(9/10)
影响因子:
--
作者:
[N.Okubo, R.Jono, S.Shiratori, S.Goto, T.Hibiya]
通讯作者:
T.Hibiya
Effect of centrifugal forces on the instability of the thermocapillary flow in partially confined half-zones
离心力对部分受限半区热毛细管流动不稳定性的影响
DOI:
--
发表时间:
2006
期刊:
Microgravity Science and Technology 18(3)
影响因子:
--
作者:
[Suguru Shiratori, Taketoshi Hibiya, Hendrik C. Kuhlmann]
通讯作者:
Hendrik C. Kuhlmann
自由表面を局在化した低Pr液柱における軸対称マランゴニ対流の振動流遷移 : 遠心力および楕円型不安定性メカニズムの効果
局部自由表面低 Pr 液柱中轴对称 Marangoni 对流的振荡流转变:离心力和椭圆不稳定机制的影响
DOI:
--
发表时间:
2006
期刊:
日本マイクログラビティ応用学会誌 23 (4)
影响因子:
--
作者:
[白鳥英, Hendrik C.Kuhlmann, 日比谷孟俊]
通讯作者:
日比谷孟俊
Experimental study on time evolution of Marangoni flow instability in molten silicon bridge
熔硅桥Marangoni流动不稳定性随时间演化的实验研究
DOI:
--
发表时间:
2005
期刊:
Journal of Materials Science 40,(9/10)
影响因子:
--
作者:
[N.Yamane, K.Nagafuchi, S.Shiratori, H.Okubo, N.Sato, T.Hibiya]
通讯作者:
T.Hibiya
DOI:
10.1063/1.2714021
发表时间:
2007-04
期刊:
Physics of Fluids
影响因子:
4.6
作者:
[Suguru Shiratori;H. Kuhlmann;T. Hibiya]
通讯作者:
Suguru Shiratori;H. Kuhlmann;T. Hibiya
物理ベース機械学習とデータからのモデル獲得による液膜塗布プロセスの解析技術革新
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批准号:23KK0262
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项目类别:Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research)
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资助金额:$9.15万
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财政年份:2023
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负责人:白鳥 英
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依托单位:
Data assimilation method based on physics-informed machine learning and its application to multiple simultaneous estimation of physical properties of coating films
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批准号:22K03909
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额:$2.58万
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财政年份:2022
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负责人:白鳥 英
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依托单位:
海外基金