CGH干渉計と超精密研削によるセグメント鏡の開発

使用CGH干涉仪和超精密磨削的分段镜的开发

• 批准号: 05J07611
• 负责人: 木野 勝
• 金额: $ 1.15万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2006
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05J07611/
• 关键词: 干渉計; CGH; 研削加工

本研究の目的である岡山3.8m望遠鏡の主鏡形状が昨年度末に決定したので、光学系の最適化と光学部品に要求される製作・設置公差を求め評価した。一部のレンズに設置困難な精度が求められたので、この部分の光学設計を見直した。最終的に得られた公差内に光学部品を設置できるよう、レンズセル・光学ベンチなど機械部分の設計を行った。CGH干渉計を測定塔に正確に設置するための位置調整ステージの設計を行った。設計の過程で被検面-CGH干渉計間の距離(約10000mm)に要求される精度が±3μm程度と非常に厳しいことが判明した。被検面-干渉計間の距離測定装置としてレーザー干渉距離計を所属研究室の学生と共同して開発した。測定分解能は<80nm(必要精度は3μm)、測定レンジは実験室内で測定可能な5000mm以上であることを確認した(要求される測定レンジは10000mm)。ただし現状ではレーザー発振波長・偏光度の時間安定性に問題がある。被検鏡面に合わせたCGHパターンを計算するプログラムを改良し計算時間を短縮した。昨年度開発のプログラムではCGH1種類につき約10日程度の計算時間が必要であった。アルゴリズムを見直すことでこれを約半日で済むよう改良した。測定対象となる口径3.78m 18分割鏡は内周(6分割)と外周(12分割)の2種類の鏡面で構成されるため測定用のCGHも2種類必要である。このプログラムを用いて実際に2種類のCGHのパターンデータを作成した。共同研究で進められている大型研削盤の製作が現在行われている。既存の研削盤による試験研削は昨年度まに得た結果を引き継いで、共同研究者である京都大学理学部宇宙物理学教室が行っている。

The purpose of this study is to determine the shape of the 3.8m optical system at the end of last year, and the most advanced optical parts in the Department of Optics require you to set tolerances. One of the equipment sets the precision of the equipment, the precision of the equipment, the optical design of the equipment, and the straightness of the optical design. The most advanced optical parts in the tolerances set the equipment, the optical equipment and the mechanical part of the equipment. The CGH dry gauge measurement tower correctly sets the location of the device, adjusts the location of the device, and adjusts the design line of the device. The accuracy of the design process is less than ±3 μ m, and it is very important to determine the accuracy of the CGH dry air separation system (about 10000mm). The distance measuring device for measuring the distance between the surface and the dry plane is used to determine the distance between the students and the students in the research room where the distance is calculated. Determine the decomposition energy (lt;80nm) (the necessary accuracy is 3 μ m), the indoor test may be above 5000mm (required to test the 10000mm). The vibration wave length of polarization and the time stability of the vibration wave are very important. There is a short period of time required for the calculation of the improved CGH calculation. It is necessary to calculate the time of about 10 days in the year of last year when we started to do the same thing as CGH1. I don't know. I don't know. I don't know how to improve it. The caliber of the image is 3.78m 18 and the inner (6) periphery (12) of the image is divided into two kinds of necessary equipment, such as CGH. This is due to the use of the same CGH information system as the international standard. Joint research and development of large-scale research and development projects are now in progress. The results of the existing research program and the results of last year's study were introduced by the co-researcher in the Universe Physics Department of the Department of Science of Kyoto University.