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バイオミメティック微細構造化による高効率エレクトロクロミック薄膜の開発

通过仿生微结构开发高效电致变色薄膜

基本信息

批准号：
16686039
负责人：
井上泰志
金额：
$ 16.72万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2006
项目状态：
已结题

项目摘要

本年度は,以下の3つの研究成果を得た.(1)平成16年度に,設備備品として導入した活性窒素源および真空チャンバーを用いて,活性窒素支援斜め堆積蒸着法による,微細構造化多結晶窒化インジウム薄膜の堆積に成功した.平成17年度に達成した,0.2Paの圧力条件より,さらに低い0.04Paにおける多結晶窒化インジウム薄膜の堆積に成功した.そこで,基板傾斜角85度の斜め堆積法を適用した結果,従来より飛躍的に微細構造制御性が高まり,膜の空隙率は80%を超え,Zigzag状構造における窒化インジウムナノロッドの傾き58度を得た.(2)0.04Paの低圧力下で活性窒素支援斜め堆積蒸着された窒化インジウム薄膜のエレクトロクロミック特性を評価した.その結果,Zigzag状構造の膜において,吸収係数変化量が最大5×10^4cm^<-1>と,これまでで最大の色変化量を達成した.応答特性として,透明導電膜をコートした基板上に堆積した膜において,着色側,消色側ともに,0.4s以内の色変化時間を示した.(3)斜め堆積反応性イオンプレーティング法において,インジウムとガリウムの2元蒸発源を用いることにより,窒化インジウムガリウム薄膜を作製した.この膜は,窒化インジウムと同様のエレクトロクロミック特性を示したが,光学ギャップが窒化インジウムより広く,それに伴って,色変化を起こす波長領域が紫外側ヘシフトすることを発見した.

This year, the following 3 research results were obtained. (1)In 2016, the equipment was prepared and the active element source and vacuum were introduced. The active element was used to support the oblique deposition evaporation method. The deposition of fine structured polycrystalline thin films was successful. The pressure condition of 0.2Pa was achieved in the year of Heisei 17, and the deposition of polycrystalline thin films was successfully achieved at a low pressure of 0.04Pa. When the substrate tilt angle of 85 degrees and the inclined stacking method were applied, the microstructure control property of the film was improved greatly, the porosity of the film was exceeded by 80%, and the Zigzag structure was improved by 58 degrees. (2) Evaluation of the properties of the thin film under low pressure of 0.04 Pa. As a result, the maximum absorption coefficient variation of Zigzag structure is 5× 10^4 cm <-1>^, and the maximum color variation of Zigzag structure is achieved. The transparent conductive film is deposited on the substrate, and the color conversion time is shown within 0.4 s on the colored side and the decolorized side. (3)The film is made of thin film and the film is made of thin film and the film is made of thin film. The film has the same characteristics as the ultraviolet side, and the optical spectrum has the same characteristics as the ultraviolet side.