Suction and discharging process in positive displacement vaccum pumps: experimental investigation and simulation of the suction and discharging process in dry-running positive displacement vacuum pumps

这个ziel4这本Forschungsvorhabens是死theoretische描述der Ladungswechselvorgange冯trockenlaufenden Rotationsverdranger-Vakuumpumpen,嗯daraus死thermische Belastung这本Maschinentyps modellieren和berechnen祖茂堂能帮。在此基础上，研究人员提出了一种新的研究方法- <s:1>分子动力学- <s:1>分子动力学- <s:1>分子动力学- <s:1>分子动力学- <s:1>分子动力学- Strömung。在德国铸造、冶金和德国铸造、德国铸造、德国铸造和德国铸造。

Das Ziel dieses Forschungsvorhabens ist die theoretische Beschreibung der Ladungswechselvorgänge von trockenlaufenden Rotationsverdränger-Vakuumpumpen, um daraus die thermische Belastung dieses Maschinentyps modellieren und berechnen zu können. Dem Antragsteller sind keine Arbeiten auf diesem Gebiet bekannt, dessen Umfang von der Molekular- über die Knudsen- bis hin zur viskosen Strömung reicht. Gleichzeitig aber gewinnt die Vakuumtechnik zunehmend in der Halbleiterfertigung, der Metallurgie und der Verfahrenstechnik an Bedeutung.