化学浴析出法による高分子膜上での酸化亜鉛薄膜の低温合成

化学浴沉淀法低温合成聚合物膜氧化锌薄膜

• 批准号: 17750194
• 负责人: 伴 隆幸
• 金额: $ 2.37万
• 依托单位: Gifu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2006
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17750194/
• 关键词: 酸化亜鉛; 化学溶析出法; プラスチック基板; 薄膜; 低温結晶化; ソフト溶液プロセス; 化学浴析出法

亜鉛成分が溶解した水溶液に種々の基板を浸して60℃で加熱することにより、その基板上での酸化亜鉛の結晶化挙動を観察した。昨年度までに、亜鉛酸イオンが溶解した塩基性の水溶液を、安定化剤を利用して調製し、それらの水溶液から種々の形態の酸化亜鉛が得られることを明らかにした。今年度は、その水溶液にポリエステル系のプラスチック基板を浸して加熱し、その基板上への酸化亜鉛膜の作製を試みた。塩基性水溶液中での加熱により、ポリエステル基板の表面に、エステルの加水分解によりカルボン酸が生成し、それが酸化亜鉛の不均一結晶核生成サイトとして作用することを期待した。しかしアクリル板,PET,ポリカーボネートいずれの基板上でも、得られた膜は大きな酸化亜鉛結晶からなる凸凹した不均一なものであった。これは、基板上での酸化亜鉛の不均一核生成速度より、結晶成長速度の方が速いためであり、均一な膜を得るには基板上での不均一核生成速度がもっと速い必要がある。実際に、あらかじめ酸化亜鉛薄膜をコートして、不均一核生成が起こりやすくしたガラス基板を用いると、その上に配向した均一な酸化亜鉛膜が得られた。ポリエステル基板を用いた検討では、基板表面でのエステルの加水分解は確認されたものの、それにより生じたカルボン酸が核生成点として作用していなかったと考えられた。カルボン酸が核生成サイトとして作用しなかったのは、溶液が強アルカリ性であり、カルボン酸イオンより水酸化物イオンが優先的に亜鉛イオンに配位するためと考えられた。これらの結果より、ポリエステル基板表面をあらかじめ加水分解処理した後、亜鉛成分が溶解した中性に近い水溶液を用いて同様の酸化亜鉛析出反応を行うなどの工夫が、プラスチック基板上で比較的均一な酸化亜鉛膜が作製するには必要であることが分かった。

The chemical composition dissolves all kinds of aqueous solution and the substrate is immersed at 60 ℃ to increase the temperature and acidification temperature on the substrate and the crystallization of the substrate. Last year, the basic aqueous solution was dissolved, stabilized, acidified and acidified last year. This year, the aqueous solution is used to increase the temperature of the substrate, and the acidizing film on the substrate is tested. In the basic aqueous solution, the surface of the substrate, the surface of the substrate, the decomposition of water, the formation of acid, the formation of heterogeneous nuclei, the formation of acid, the formation of nuclei, the formation of crystal nuclei, the formation of crystal nuclei. The surface of the plate, PET, the substrate, the film, the acidizing property, the crystal structure, the convex and concave structure, the uniformity of the film, the temperature, the temperature and the temperature. The formation rate of heterogeneous nuclei on the substrate, the growth rate of crystal growth, the formation rate of uniform nuclei on the substrate, the growth rate of crystal growth, the formation rate of heterogeneous nuclei on the substrate, the formation rate of heterogeneous nuclei on the substrate, the growth rate of crystal growth, the formation rate of heterogeneous nuclei on the substrate, the formation rate of heterogeneous nuclei on the substrate, the growth rate of crystal growth, the formation rate of heterogeneous nuclei on the substrate, the formation rate of heterogeneous nuclei on the substrate is much higher than that on the substrate. In the process of acidizing, the thin film is acidified, the heterogeneous nucleus is formed, and the substrate is homogenized and acidified. On the substrate, the surface of the substrate is decomposed with water to make sure that the acid nucleation point is formed. The nucleation of the acid is characterized by the action of the acid, the solution, the acid, the hydrate, the coordination, the coordination. The results show that after the surface of the substrate is decomposed by adding water, the chemical composition dissolves the neutral near-aqueous solution and uses the same acidizing method to precipitate the reverse acidization. the homogenized acidizing film on the substrate is used to make the necessary acidizing film.

项目成果

Microstructure of sol-gel ZnO thin films fabricated using ethanolamine and hydroxyketone modifiers

• DOI: 10.2109/jcersj.113.220
• 发表时间: 2005
• 期刊: Journal of the Ceramic Society of Japan
• 影响因子: 1.1
• 作者: Y. Ohya;Takatomo Ogata;T. Ban;Y. Takahashi

Fabrication of zinc oxide transparent thin-film transistor with ZrO_2 insulating layer by sol-gel method.

溶胶-凝胶法制备ZrO_2绝缘层氧化锌透明薄膜晶体管

• 发表时间: 2005
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics 44・4A
• 作者: OHYA;Yutaka
• 通讯作者: Yutaka

Microstructure and stress-induced phase transformation of sol-gel derived zirconia thin film.

溶胶-凝胶衍生氧化锆薄膜的微观结构和应力诱导相变。

• 发表时间: 2006
• 期刊: Journal of Ceramic Society of Japan 114・5
• 作者: OHYA;Yutaka
• 通讯作者: Yutaka