化学浴析出法による高分子膜上での酸化亜鉛薄膜の低温合成

化学浴沉淀法低温合成聚合物膜氧化锌薄膜

• 批准号: 17750194
• 负责人: 伴 隆幸
• 金额: $ 2.37万
• 依托单位: Gifu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2006
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17750194/
• 关键词: 酸化亜鉛; 化学溶析出法; プラスチック基板; 薄膜; 低温結晶化; ソフト溶液プロセス; 化学浴析出法

亜鉛成分が溶解した水溶液に種々の基板を浸して60℃で加熱することにより、その基板上での酸化亜鉛の結晶化挙動を観察した。昨年度までに、亜鉛酸イオンが溶解した塩基性の水溶液を、安定化剤を利用して調製し、それらの水溶液から種々の形態の酸化亜鉛が得られることを明らかにした。今年度は、その水溶液にポリエステル系のプラスチック基板を浸して加熱し、その基板上への酸化亜鉛膜の作製を試みた。塩基性水溶液中での加熱により、ポリエステル基板の表面に、エステルの加水分解によりカルボン酸が生成し、それが酸化亜鉛の不均一結晶核生成サイトとして作用することを期待した。しかしアクリル板,PET,ポリカーボネートいずれの基板上でも、得られた膜は大きな酸化亜鉛結晶からなる凸凹した不均一なものであった。これは、基板上での酸化亜鉛の不均一核生成速度より、結晶成長速度の方が速いためであり、均一な膜を得るには基板上での不均一核生成速度がもっと速い必要がある。実際に、あらかじめ酸化亜鉛薄膜をコートして、不均一核生成が起こりやすくしたガラス基板を用いると、その上に配向した均一な酸化亜鉛膜が得られた。ポリエステル基板を用いた検討では、基板表面でのエステルの加水分解は確認されたものの、それにより生じたカルボン酸が核生成点として作用していなかったと考えられた。カルボン酸が核生成サイトとして作用しなかったのは、溶液が強アルカリ性であり、カルボン酸イオンより水酸化物イオンが優先的に亜鉛イオンに配位するためと考えられた。これらの結果より、ポリエステル基板表面をあらかじめ加水分解処理した後、亜鉛成分が溶解した中性に近い水溶液を用いて同様の酸化亜鉛析出反応を行うなどの工夫が、プラスチック基板上で比較的均一な酸化亜鉛膜が作製するには必要であることが分かった。

The lead component is dissolved in an aqueous solution and the substrate is soaked and heated at 60°C. The lead is acidified on the substrate and the lead is crystallized. Last year's までに, 亜 lead acid イオンが dissolved し 塩 basic の aqueous solution を, stabilization イ を utilization し て adjustment Preparation of し, それらの aqueous solution から kind of 々の form の acidification of lead が is obtained られることを明らかにした. This year, the aqueous solution of the にポリエステル system of the のプラスチック substrate is immersed and heated, and the acidification of the lead film on the その substrate is produced and tested. Heating the surface of the substrate in the alkaline aqueous solution, the surface of the ポリエステル substrate, and the hydrolysis of the エステルのによりカルThe formation of ボン acid and the formation of heterogeneous crystal nuclei of それが acidification of lead lead are expected.しかしアクリル board, PET, ポリカーボネートいずれの substrate でも, getられた片は大きなAcidified 亜 lead crystallization からなるconvex and concave した uneven なものであった.これは, acidification of lead on the substrate, non-uniform nucleation speed, crystal growth speed, のsquare speed, いためThe speed of non-uniform nucleation on the substrate is the same as that of the uniform film.実记に、あらかじめAcidified lead film をコートして、Heterogeneous nucleation がrise こりやすくThe したガラス substrate is made of いると, その上にalignment and したuniform acidification of the lead film.ポリエステルを Use いた検検恧は, substrate surface でのエステルのadd water decomposition はconfirmation されたものの、それにより生じたカルボン草が nuclei generation point として Effect していなかったと卡えられた. The nucleation of カルボン acid is a nucleation サイトとして action しなかったのは, the solution is strong アルカリ性 であり, カThe ルボン acid イオンよりwater acid compound イオンが is the preferred に亜lead イオンに coordination するためと卡えられた. The surface of the これらのより, ポリエステルsubstrate surface has been treated with water decomposition, and the lead component has been dissolved and the neutral and near aqueous solution has been used. Acidified lead precipitates and reacts on the base plate by using the same method It is necessary to make a relatively uniform acidification of the lead film and it is necessary to divide it into parts.

项目成果

Microstructure of sol-gel ZnO thin films fabricated using ethanolamine and hydroxyketone modifiers

• DOI: 10.2109/jcersj.113.220
• 发表时间: 2005
• 期刊: Journal of the Ceramic Society of Japan
• 影响因子: 1.1
• 作者: Y. Ohya;Takatomo Ogata;T. Ban;Y. Takahashi

Fabrication of zinc oxide transparent thin-film transistor with ZrO_2 insulating layer by sol-gel method.

溶胶-凝胶法制备ZrO_2绝缘层氧化锌透明薄膜晶体管

• 发表时间: 2005
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics 44・4A
• 作者: OHYA;Yutaka
• 通讯作者: Yutaka

Microstructure and stress-induced phase transformation of sol-gel derived zirconia thin film.

溶胶-凝胶衍生氧化锆薄膜的微观结构和应力诱导相变。

• 发表时间: 2006
• 期刊: Journal of Ceramic Society of Japan 114・5
• 作者: OHYA;Yutaka
• 通讯作者: Yutaka