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Development of water driven machining system for ultra-precise meso-scale products

Development of water driven machining system for ultra-precise meso-scale products
超精密细观产品水驱动加工系统开发
批准号：
18560115
负责人：
NAKAO Yohichi
金额：
$2.62万
依托单位：
Kanagawa University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18560115/
关键词：
超精密工作機械ウォータドライブスピンドルダイヤモンド切削水静圧軸受マイクロファクトリ水圧駆動システムウォータドライブステージ

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
本研究は, マイクロ非球面レンズなどに代表される小型超精密部品の創成に適した, 小型加工システムの開発を目的にして実施したものである. 本研究の特徴は, 加工システムの高精度化ならびに小型化に適していると考えられるウォータドライブ方式によるスピンドルとステージを開発したことである. さらに, 開発したスピンドルとステージの基本性能や制御性能を評価した後, これらを組み合わせたウォータドライブ小型加工システムを開発した.
英文摘要
本研究は, マイクロ非球面レンズなどに代表される小型超精密部品の創成に適した, 小型加工システムの開発を目的にして実施したものである. 本研究の特徴は, 加工システムの高精度化ならびに小型化に適していると考えられるウォータドライブ方式によるスピンドルとステージを開発したことである. さらに, 開発したスピンドルとステージの基本性能や制御性能を評価した後, これらを組み合わせたウォータドライブ小型加工システムを開発した.
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会议论文
スピンドル装置
主轴装置
DOI： --
发表时间： 2006
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Design of Angular Position Controller of Fluid Drive Spindle for Diamond Turning
金刚石车削流体驱动主轴角位置控制器设计
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Proc. Int. Conf. on Manufacturing Research
影响因子： --
作者： [Yohichi Nakao, Masanori Ishikawa]
通讯作者： Masanori Ishikawa
流体駆動スピンドルの試作と基本特性
液力主轴的样机制作及基本特性
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [中尾陽一, 石川雅教]
通讯作者： 石川雅教
ワイヤドライブ・エアステージの制御系設計
线驱动空气台控制系统设计
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [高橋, 中尾]
通讯作者： 中尾
共 23 条
    Development of water driven ultra-precision machining system and diamond turning in temperature controlled water environment
    • 批准号：
      21560131
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      NAKAO Yohichi
    • 依托单位：
      Kanagawa University
    Development of High-Performance Spindle for Micro Factory for Machining Ultra-Precision Meso-Scale Parts
    • 批准号：
      15560103
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.62万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      NAKAO Yohichi
    • 依托单位：
      Kanagawa University
    Development of spindle with motor function for ultra-precision machine tool
    • 批准号：
      13650136
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.92万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      NAKAO Yohichi
    • 依托单位：
      Kanagawa University
    海外基金