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液晶性物質を用いたウエットプロセスによる有機多結晶薄膜トランジスタの研究

利用液晶材料的湿法工艺研究有机多晶薄膜晶体管

基本信息

批准号：
18850008
负责人：
飯野裕明
金额：
$ 1.56万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

平成19年度は(1)加熱スピンコートによる多結晶薄膜作製の詳細な検討(2)平成18年度に検討した棒状液晶系(チオフェン系)、円盤状液晶(フタロシアニン系)の多結晶薄膜を用いた有機トランジスタの作製および評価(3)新規な液晶材料(チオフェン、ペリレン系)の多結晶薄膜の電荷輸送評価および有機トランジスタの作製および評価を行った。(1)液晶相を示す温度における加熱スピンコートを行った際のみ、均一な薄膜作製が可能であった。従って、液晶相においてスピンコートをすることが均一な薄膜作製には重要であることが示唆された。(2)棒状液晶においては良好なトランジスタ特性を示し、移動度(>10^<-2>cm^2/Vs)が過渡光電流測定法で求まる移動度(粒界の影響を受けていない移動度)と一致したのに対し、円盤状液晶においては良好なトランジスタ特性は示さなかった(移動度<10^<-5>cm^2/Vs)。これは配向制御が容易な棒状液晶においては粒界方向を制御でき粒界の影響を受けない電荷輸送特性になったのに対し、円盤状液晶は分子配向制御ができず、粒界の影響を強く受けたためと示唆された。(3)過渡光電流測定法により高移動度(>0.1cm^2/Vs)を示すターチオフェン液晶、およびペリレン液晶を上記と同様な方法でトランジスタを作製したところ、それぞれ、pチャネル、nチャネルで動作し、移動度が0.1cm^2/Vsを超えることを見出した。このように液晶性物質の多結晶薄膜は、(1)液晶相を用いることで通常では困難なウエットプロセスによる均一な多結晶薄膜の作製が可能、(2)液晶相を経由することで分子配向制御させた多結晶薄膜作製が可能、(3)粒界方向を制御でき電荷輸送方向には粒界の影響が少ない、といった特徴を有することが明らかになった。その結果、通常の多結晶材料の真空蒸着法で示されるような高移動度(>0.1cm^2/Vs)を示すpチャネル、nチャネルのトランジスタをウエットプロセスで実現させることに成功した。

(1) Detailed Review of Polycrystalline Thin Film Fabrication by Heating (2) Review of Rod-like Liquid Crystal System and Disc-like Liquid Crystal System in Heisei 18 (3) Evaluation of charge transport and operation of organic phase in polycrystalline thin films of new liquid crystal materials (liquid crystal system). (1)The temperature of the liquid crystal is high, and the film is uniform. The liquid crystal layer is formed by a thin film. (2)Rod-like liquid crystal has good characteristics and mobility (> 10 ^cm^2/Vs). The mobility obtained by transient photocurrent measurement method is consistent with that obtained by plate-like liquid crystal (mobility <10 ^cm^2/Vs).<-2><-5>It is easy to control the alignment of rod-shaped liquid crystals. The effect of grain boundary on charge transport characteristics is strong. (3)The transient photocurrent measurement method indicates that the high mobility (> 0.1cm^2/Vs) of liquid crystal, liquid crystal and liquid crystal is recorded in the same way as the method for controlling the high mobility (> 0.1cm^2/Vs). Polycrystalline thin films of liquid-crystalline substances are: (1) difficult to fabricate uniform polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(2) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(3) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in molecular alignment;(4) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(5) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(6) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(7) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(8) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(9) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline substances in general;(9) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(10) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(10) possible to fabricate polycrystalline thin films of liquid-crystalline thin films of liquid-crystalline phase in general;(10) As a result, the vacuum evaporation method of a typical polycrystalline material shows that the high mobility (> 0.1 cm^2/Vs) is successfully achieved.