Flexible and highly-efficient hollow optical fiber for transmission of 13-nm extreme ultraviolet light and 0.15nm soft X ray

柔性高效中空光纤，用于传输 13 nm 极紫外光和 0.15 nm 软 X 射线

• 批准号: 18360157
• 负责人: MATSUURA Yuji
• 金额: $ 11.1万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360157/
• 关键词: 中空ファイバ; 真空紫外; 軟X線; X線伝送; 中空導波路; レーザ誘起プラズマ

極紫外(EUV)光・軟X線という伝送路未開の領域を開拓し, 可視-近赤外領域で一般的に使用されているガラス光ファイバのように, 柔軟かつ高効率な伝送路を実現することを目的とする. その方法として, EUV・軟X線の波長の全域をほぼ完璧に透過する唯一の材料,「真空」をコアとする中空光ファイバを選び, その構成材料や構造などについて最適設計を行うとともに, 製造方法をあらたに開発した. また, 開発した中空光ファイバを用いた新機能を有するX線検査装置の試作・評価を行った.

Extreme ultraviolet (EUV) light·soft X-ray transmission path unopened areas to open up, visible-near infrared field general use of light, soft and high efficiency transmission path to achieve this goal. EUV soft X-ray wavelength of the whole range of perfect transmission through the unique material,"vacuum" and "hollow light" selection, all the constituent materials and structure of the optimal design, production methods and development. The X-ray inspection device has been tested and evaluated.

项目成果

軟X線伝送用金属中空ファイバ-曲がり損失低減の検討-

软X射线传输用金属中空光纤-降低弯曲损耗的研究-

• 发表时间: 2008
• 作者: 前田真吾;松浦祐司;前田真吾;前田真吾
• 通讯作者: 前田真吾

13nm帯EUV光用金属中空ファイバ-金属の選択と試作-

用于 13nm 波段 EUV 光的金属中空纤维 - 金属选择和原型制作 -

• 发表时间: 2006
• 作者: Blanco;A. C.;吉田 貴則
• 通讯作者: 吉田 貴則

Bundled hollow optical fibers for transmission of high-peak-power Q-switched Nd:YAG laser pulses

用于传输高峰值功率 Q 开关 Nd:YAG 激光脉冲的束状空心光纤

• 发表时间: 2006
• 期刊: Appl.Opt. 45
• 作者: S.Lee;Y.Sankai;K.Iwai;Y.W.Shi;M.Nakazawa;O.Yilmaz
• 通讯作者: O.Yilmaz

軟X線伝送用金属中空ファイバを用いた蛍光X線分析

使用金属中空纤维进行软 X 射线传输的荧光 X 射线分析

• 发表时间: 2009
• 作者: 前田真吾;松浦祐司
• 通讯作者: 松浦祐司

All-Solid Single-Mode Bragg Fibers for Compact Fiber Devices

• DOI: 10.1109/jlt.2006.883667
• 发表时间: 2006-11
• 期刊: Journal of Lightwave Technology
• 影响因子: 4.7
• 作者: T. Katagiri;Y. Matsuura;M. Miyagi