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Development of Evaluation Method of High Quality Diamond Film for 10 GHz-Range Surface Acoustic Wave Device

Development of Evaluation Method of High Quality Diamond Film for 10 GHz-Range Surface Acoustic Wave Device
10 GHz范围声表面波器件用高质量金刚石膜评价方法的开发
批准号：
18360158
负责人：
ODAGAWA Hiroyuki
金额：
$10.48万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360158/
关键词：
ダイヤモンド超音波超音波計測ダイヤモンド薄膜弾性表面波超精密計測電子・電気材料

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薄層の弾性特性を評価する技術を拡張して、基板上の薄膜の弾性特性を評価する方法について検討した。また、ダイヤモンド薄膜を用いたSAWデバイスの特性向上には、ダイヤモンド薄膜、ZnO圧電薄膜、SiO_2薄膜の音響特性の評価が不可欠である。それぞれについて、超音波マイクロスペクトロスコピー技術を基礎として、音響特性を評価する方法を検討し、実際にその評価を行った。
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会议论文
超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の評価
超声波显微光谱技术评价ZnO单晶
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [T.Sakata, Y.Ikeda, K.Shiozawa, Y.Neo, H.Morii, T.Aoki, H.Mimura, 田中智也]
通讯作者： 田中智也
UHF-range longitudinal acoustic property measurement of liquid specimens using multiple interference in a thin specimen layer
使用薄样品层中的多重干涉测量液体样品的 UHF 范围纵向声学特性
DOI： --
发表时间： 2006
期刊：
影响因子： --
作者： [H. Odagawa, K. Miura, M. Arakawa, N. Akashi, J. Kushibiki,and F. Dunn]
通讯作者： J. Kushibiki,and F. Dunn
Ultrasonic Micro-Spectroscopy Characterization of ZnO and AlN Single Crystals
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [J. Kushibiki;Y. Ohashi;M. Arakawa;Tomoya Tanaka]
通讯作者： J. Kushibiki;Y. Ohashi;M. Arakawa;Tomoya Tanaka
Evaluation of TiO_2-SiO_2 ultra-low expansion glass fabricated by the soot method using the line-focus-beam ultrasonic material characterization system
线聚焦束超声材料表征系统评价烟灰法制备的TiO_2-SiO_2超低膨胀玻璃
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [J. Kushibiki, M. Arakawa, T. Ueda,and A. Fujinoki]
通讯作者： T. Ueda,and A. Fujinoki
共 15 条
    Fabrication of KNbO_3 Thin Film and Application to SAW Device for Future Mobile Tohoku University Communication
    • 批准号：
      11555089
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
    • 资助金额：
      $8.83万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      ODAGAWA Hiroyuki
    • 依托单位：
      Tohoku University
    国内基金
    海外基金
    超音波马达的探索与研究
    • 批准号：
      59085436
    • 项目类别：
      专项基金项目
    • 资助金额：
      6.0万元
    • 批准年份：
      1990
    • 负责人：
      张同庄
    • 依托单位：
      北京理工大学