Development of Evaluation Method of High Quality Diamond Film for 10 GHz-Range Surface Acoustic Wave Device

10 GHz范围声表面波器件用高质量金刚石膜评价方法的开发

• 批准号: 18360158
• 负责人: ODAGAWA Hiroyuki
• 金额: $ 10.48万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360158/
• 关键词: ダイヤモンド; 超音波; 超音波計測; ダイヤモンド薄膜; 弾性表面波; 超精密計測; 電子・電気材料

薄層の弾性特性を評価する技術を拡張して、基板上の薄膜の弾性特性を評価する方法について検討した。また、ダイヤモンド薄膜を用いたSAWデバイスの特性向上には、ダイヤモンド薄膜、ZnO圧電薄膜、SiO_2薄膜の音響特性の評価が不可欠である。それぞれについて、超音波マイクロスペクトロスコピー技術を基礎として、音響特性を評価する方法を検討し、実際にその評価を行った。

Thin layer の 弾 sexual features を review 価 す を る technology company, zhang し て, film substrate の の 弾 sexual characteristics を review 価 す る method に つ い て beg し 検 た. ま た, ダ イ ヤ モ ン を ド film with い た SAW デ バ イ ス の features up に は, ダ イ ヤ モ ン ド film, ZnO 圧 electric film, film SiO_2 の acoustic characteristic の review 価 が not owe で あ る. そ れ ぞ れ に つ い て, ultrasound マ イ ク ロ ス ペ ク ト ロ ス コ ピ ー technology を と し て, audio features を review 価 す る method を beg し 検, be interstate に そ の review 価 を line っ た.

项目成果

超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の評価

超声波显微光谱技术评价ZnO单晶

• 发表时间: 2007
• 作者: T.Sakata;Y.Ikeda;K.Shiozawa;Y.Neo;H.Morii;T.Aoki;H.Mimura;田中智也
• 通讯作者: 田中智也

UHF-range longitudinal acoustic property measurement of liquid specimens using multiple interference in a thin specimen layer

使用薄样品层中的多重干涉测量液体样品的 UHF 范围纵向声学特性

• 发表时间: 2006
• 作者: H. Odagawa;K. Miura;M. Arakawa;N. Akashi;J. Kushibiki,and F. Dunn
• 通讯作者: J. Kushibiki,and F. Dunn

Ultrasonic Micro-Spectroscopy Characterization of ZnO and AlN Single Crystals

• 发表时间: 2008
• 作者: J. Kushibiki;Y. Ohashi;M. Arakawa;Tomoya Tanaka

Evaluation of TiO_2-SiO_2 ultra-low expansion glass fabricated by the soot method using the line-focus-beam ultrasonic material characterization system

线聚焦束超声材料表征系统评价烟灰法制备的TiO_2-SiO_2超低膨胀玻璃

• 发表时间: 2008
• 作者: J. Kushibiki;M. Arakawa;T. Ueda,and A. Fujinoki
• 通讯作者: T. Ueda,and A. Fujinoki

Accurate Velocity Measurement of Periodic Striae of TiO_2-SiO_2 Glasses by the Line-Focus-Beam Ultrasonic Material-Characterization System

线聚焦束超声材料表征系统精确测量TiO_2-SiO_2玻璃周期性条纹的速度

• 发表时间: 2006
• 期刊: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.45,No.11
• 作者: M. Arakawa;J. Kushibiki;Y. Ohashi and K. Suzuki
• 通讯作者: Y. Ohashi and K. Suzuki